Nel campo del taglio di wafer di semiconduttori, un errore di 0,001 mm può persino rendere un chip inutilizzabile. Una base in granito apparentemente insignificante, se la sua qualità non soddisfa gli standard, sta silenziosamente spingendo la vostra produzione sull'orlo di rischi e costi elevati! Questo articolo vi porta direttamente ai pericoli nascosti delle basi di qualità inferiore, salvaguardando la precisione di taglio e l'efficienza produttiva.
La "bomba invisibile" delle basi in granito scadenti
1. Deformazione termica incontrollata: il killer fatale della precisione
Il granito di bassa qualità ha un coefficiente di dilatazione termica eccessivo. Nell'ambiente ad alta temperatura del taglio dei wafer (fino a 150 °C in alcune aree), può subire una deformazione di 0,05 mm/m! A causa della deformazione termica della base in un impianto di fabbricazione di wafer, la deviazione dimensionale dei wafer tagliati ha superato i ±5 μm e il tasso di scarto di un singolo lotto è salito al 18%.
2. Resistenza strutturale insufficiente: la durata di vita dell'attrezzatura è "dimezzata"
Le basi non qualificate con una densità inferiore a 2600 kg/m³ presentano una riduzione del 50% della resistenza all'usura e una capacità portante erroneamente indicata. In caso di frequenti vibrazioni di taglio, la superficie della base è soggetta a usura e all'interno si formano microfessure. Di conseguenza, una determinata attrezzatura da taglio è stata rottamata con due anni di anticipo e il costo di sostituzione ha superato il milione di dollari.
3. Scarsa stabilità chimica: la corrosione è piena di pericoli
Il granito non conforme agli standard ha una scarsa resistenza alla corrosione. I componenti acidi e alcalini presenti nel fluido da taglio erodono gradualmente la base, con conseguente deterioramento della planarità. I dati di un laboratorio mostrano che, utilizzando basi di qualità inferiore, il ciclo di calibrazione delle apparecchiature è stato ridotto da sei a due mesi e i costi di manutenzione sono triplicati.
Come identificare i rischi? Quattro punti chiave dei test che devi assolutamente leggere!
✅ Test di densità: densità del granito di alta qualità ≥2800kg/m³, al di sotto di questo valore potrebbero esserci difetti di porosità;
✅ Coefficiente di prova di dilatazione termica: richiedere un rapporto di prova < 8×10⁻⁶/℃, nessun "re di deformazione ad alta temperatura";
✅ Verifica della planarità: misurata con un interferometro laser, la planarità deve essere ≤±0,5μm/m, altrimenti il fuoco di taglio è soggetto a spostamento;
✅ Verifica autorevole della certificazione: conferma ISO 9001, CNAS e altre certificazioni, rifiuta la base "tre-no".
La precisione nella difesa inizia dalla base!
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Data di pubblicazione: 13-06-2025