Materiale: ceramica

♦Allumina (Al2O3)

Le parti in ceramica di precisione prodotte da ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) possono essere realizzate con materie prime ceramiche di elevata purezza, 92~97% di allumina, 99,5% di allumina, >99,9% di allumina e pressatura isostatica a freddo CIP.Sinterizzazione ad alta temperatura e lavorazione di precisione, precisione dimensionale di ± 0,001 mm, levigatezza fino a Ra0,1, temperatura di utilizzo fino a 1600 gradi.È possibile realizzare diversi colori di ceramica in base alle esigenze dei clienti, ad esempio: nero, bianco, beige, rosso scuro, ecc. Le parti in ceramica di precisione prodotte dalla nostra azienda sono resistenti alle alte temperature, alla corrosione, all'usura e all'isolamento e possono essere utilizzato per lungo tempo in ambienti ad alta temperatura, vuoto e gas corrosivi.

Ampiamente utilizzato in una varietà di apparecchiature per la produzione di semiconduttori: telai (staffa in ceramica), substrato (base), braccio/ponte (manipolatore), componenti meccanici e cuscinetto d'aria in ceramica.

AL2O3

nome del prodotto Tubo/tubo/asta quadrato in ceramica di allumina 99 ad elevata purezza
Indice Unità 85% Al2O3 95% Al2O3 99% Al2O3 99,5% Al2O3
Densità g/cm3 3.3 3,65 3.8 3.9
Assorbimento dell'acqua % <0,1 <0,1 0 0
Temperatura sinterizzata 1620 1650 1800 1800
Durezza Moh 7 9 9 9
Resistenza alla flessione (20 ℃)) MPa 200 300 340 360
Resistenza alla compressione Kgf/cm2 10000 25000 30000 30000
Temperatura di lavoro per lungo tempo 1350 1400 1600 1650
Massimo.Temperatura di lavoro 1450 1600 1800 1800
Resistività del volume 20 ℃ Ω.cm3 >1013 >1013 >1013 >1013
100 ℃ 1012-1013 1012-1013 1012-1013 1012-1013
300 ℃ >109 >1010 >1012 >1012

Applicazione di ceramiche di allumina ad alta purezza:
1. Applicato alle apparecchiature a semiconduttore: mandrino a vuoto in ceramica, disco da taglio, disco di pulizia, MANDRINO in ceramica.
2. Parti di trasferimento dei wafer: mandrini per la movimentazione dei wafer, dischi per il taglio dei wafer, dischi per la pulizia dei wafer, ventose per l'ispezione ottica dei wafer.
3. Industria dei display a schermo piatto LED / LCD: ugello in ceramica, disco abrasivo in ceramica, PIN LIFT, guida PIN.
4. Comunicazione ottica, industria solare: tubi in ceramica, aste in ceramica, raschietti in ceramica per serigrafia di circuiti stampati.
5. Parti resistenti al calore ed elettricamente isolanti: cuscinetti in ceramica.
Allo stato attuale, le ceramiche all'ossido di alluminio possono essere suddivise in ceramiche ad elevata purezza e comuni.La serie ceramica all'ossido di alluminio ad elevata purezza si riferisce al materiale ceramico contenente più del 99,9% di Al₂O₃.A causa della sua temperatura di sinterizzazione fino a 1650 - 1990°C e della sua lunghezza d'onda di trasmissione di 1 ~ 6μm, viene solitamente trasformato in vetro fuso invece che in crogiolo di platino: che può essere utilizzato come tubo di sodio grazie alla sua trasmissione luminosa e resistenza alla corrosione a metallo alcalino.Nell'industria elettronica può essere utilizzato come materiale isolante ad alta frequenza per i substrati dei circuiti integrati.In base ai diversi contenuti di ossido di alluminio, le comuni serie ceramiche di ossido di alluminio possono essere suddivise in 99 ceramiche, 95 ceramiche, 90 ceramiche e 85 ceramiche.A volte, la ceramica con l'80% o il 75% di ossido di alluminio è anche classificata come serie ceramica comune all'ossido di alluminio.Tra questi, il materiale ceramico in ossido di alluminio 99 viene utilizzato per produrre crogioli ad alta temperatura, tubi del forno ignifughi e materiali speciali resistenti all'usura, come cuscinetti in ceramica, guarnizioni in ceramica e piastre delle valvole.La ceramica in alluminio 95 viene utilizzata principalmente come parte resistente all'usura resistente alla corrosione.La ceramica 85 viene spesso miscelata in alcune proprietà, migliorando così le prestazioni elettriche e la resistenza meccanica.Può utilizzare molibdeno, niobio, tantalio e altri sigilli metallici e alcuni sono utilizzati come dispositivi di aspirazione elettrici.

 

Articolo di qualità (valore rappresentativo) nome del prodotto AES-12 AES-11 AES-11C AES-11F AES-22S AES-23 AL-31-03
Composizione chimica Prodotto a sinterizzazione facile a basso contenuto di sodio H₂O % 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1
Lol % 0,1 0,2 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1
Fe₂0₃ % 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01
SiO₂ % 0,03 0,03 0,03 0,03 0,02 0,04 0,04
Na₂O % 0,04 0,04 0,04 0,04 0,02 0,04 0,03
MgO* % - 0,11 0,05 0,05 - - -
Al₂0₃ % 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9
Diametro medio delle particelle (MT-3300, metodo di analisi laser) µm 0,44 0,43 0,39 0,47 1.1 2.2 3
Dimensione del cristallo α µm 0,3 0,3 0,3 0,3 0,3 ~ 1,0 0,3~4 0,3~4
Densità di formazione** g/cm³ 2.22 2.22 2.2 2.17 2.35 2.57 2.56
Densità di sinterizzazione** g/cm³ 3.88 3.93 3.94 3.93 3.88 3.77 3.22
Tasso di contrazione della linea di sinterizzazione** % 17 17 18 18 15 12 7

*MgO non è incluso nel calcolo della purezza di Al₂O₃.
* Polvere senza scagliatura 29,4 MPa (300 kg/cm²), la temperatura di sinterizzazione è 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: aggiungere 0,05 ~ 0,1% MgO, la sinterizzazione è eccellente, quindi è applicabile alla ceramica all'ossido di alluminio con una purezza superiore al 99%.
AES-22S: caratterizzato da un'elevata densità di formatura e da un basso tasso di restringimento della linea di sinterizzazione, è applicabile alla fusione in forma scorrevole e ad altri prodotti su larga scala con la precisione dimensionale richiesta.
AES-23 / AES-31-03: ha una densità di formatura maggiore, tixotropia e una viscosità inferiore rispetto a AES-22S.il primo viene utilizzato per la ceramica mentre il secondo viene utilizzato come riduttore d'acqua per materiali ignifughi, guadagnando popolarità.

♦Caratteristiche del carburo di silicio (SiC).

Caratteristiche generali Purezza dei componenti principali (% in peso) 97
Colore Nero
Densità (g/cm³) 3.1
Assorbimento dell'acqua (%) 0
Caratteristiche meccaniche Resistenza alla flessione (MPa) 400
Modulo di Young (GPa) 400
Durezza Vickers (GPa) 20
Caratteristiche termiche Temperatura massima di esercizio (°C) 1600
Coefficiente di dilatazione termica RT~500°C 3.9
(1/°C x 10-6) RT~800°C 4.3
Conducibilità termica (W/m x K) 130 110
Resistenza allo shock termico ΔT (°C) 300
caratteristiche elettriche Resistività del volume 25°C 3×106
300°C -
500°C -
800°C -
Costante dielettrica 10GHz -
Perdita dielettrica (x 10-4) -
Fattore Q (x 104) -
Tensione di rottura dielettrica (KV/mm) -

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♦ Ceramica al nitruro di silicio

Materiale Unità Si₃N₄
Metodo di sinterizzazione - Pressione del gas sinterizzato
Densità g/cm³ 3.22
Colore - Grigio scuro
Tasso di assorbimento dell'acqua % 0
Modulo giovane GP 290
Durezza Vickers GP 18 - 20
Resistenza alla compressione MPa 2200
Resistenza alla flessione MPa 650
Conduttività termica W/mK 25
Resistenza allo shock termico Δ (°C) 450 - 650
Temperatura operativa massima °C 1200
Resistività del volume Ω·cm >10^14
Costante dielettrica - 8.2
Rigidità dielettrica kV/mm 16