La rivoluzione della precisione nella produzione di semiconduttori: quando il granito incontra la tecnologia micron
1.1 Scoperte inaspettate nella scienza dei materiali
Secondo il rapporto SEMI 2023 dell'International Semiconductor Association, il 63% delle fabbriche avanzate del mondo ha iniziato a utilizzare basi in granito al posto delle tradizionali piattaforme metalliche. Questa pietra naturale, che ha origine dalla condensazione del magma nelle profondità della Terra, sta riscrivendo la storia della produzione di semiconduttori grazie alle sue proprietà fisiche uniche:
Vantaggio dell'inerzia termica: il coefficiente di dilatazione termica del granito 4,5×10⁻⁶/℃ è solo 1/5 di quello dell'acciaio inossidabile e la stabilità dimensionale di ±0,001 mm viene mantenuta nel lavoro continuo della macchina litografica
Caratteristiche di smorzamento delle vibrazioni: il coefficiente di attrito interno è 15 volte superiore a quello della ghisa, assorbendo efficacemente le microvibrazioni dell'attrezzatura
Natura di magnetizzazione zero: elimina completamente l'errore magnetico nella misurazione laser
1.2 Il viaggio della metamorfosi da miniera a fabbrica
Prendendo come esempio la base di produzione intelligente di ZHHIMG nello Shandong, un pezzo di granito grezzo deve essere sottoposto a:
Lavorazione ad altissima precisione: centro di lavoro a 5 assi con collegamento meccanico per 200 ore di fresatura continua, rugosità superficiale fino a Ra0,008μm
Trattamento di invecchiamento artificiale: 48 ore di rilascio naturale dello stress in laboratorio a temperatura e umidità costanti, che migliora la stabilità del prodotto del 40%.
In secondo luogo, risolvere i sei problemi di precisione della "soluzione rock" della produzione di semiconduttori
2.1 Schema di riduzione del tasso di frammentazione dei wafer
Dimostrazione del caso: dopo che una fonderia di trucioli in Germania ha adottato la nostra piattaforma di granito flottante a gas:
| Diametro del wafer | riduzione del tasso di chip | miglioramento della planarità |
| 12 pollici | 67% | ≤0,001 mm |
| 18 pollici | 82% | ≤0,0005 mm |
2.2 Schema innovativo per la precisione dell'allineamento litografico
Sistema di compensazione della temperatura: il sensore ceramico incorporato monitora la variabile di forma in tempo reale e regola automaticamente l'inclinazione della piattaforma
Dati misurati: sotto la fluttuazione di 28℃±5℃, la precisione di inclusione fluttua meno di 0,12μm
Data di pubblicazione: 24-03-2025