Nell'officina di produzione di semiconduttori, i requisiti del processo di produzione dei chip in termini di condizioni ambientali e precisione delle apparecchiature sono estremi, e qualsiasi minima deviazione può portare a un calo significativo della resa del chip. La piattaforma di movimento a portale di precisione XYZT si basa su componenti in granito che collaborano con le altre parti della piattaforma per costruire una solida base per raggiungere un'accuratezza su scala nanometrica.
Eccellenti proprietà di blocco delle vibrazioni
Nell'officina di produzione di semiconduttori, il funzionamento delle apparecchiature periferiche e il movimento del personale possono causare vibrazioni. La struttura interna dei componenti in granito è densa e uniforme, con elevate caratteristiche di smorzamento naturali, che fungono da efficiente "barriera" contro le vibrazioni. Quando le vibrazioni esterne vengono trasmesse alla piattaforma XYZT, il componente in granito può attenuare efficacemente oltre l'80% dell'energia vibrazionale e ridurre l'interferenza delle vibrazioni sulla precisione di movimento della piattaforma. Allo stesso tempo, la piattaforma è dotata di un sistema di guida a galleggiante ad alta precisione, che funziona in combinazione con i componenti in granito. La guida a galleggiante utilizza la pellicola di gas stabile formata da gas ad alta pressione per realizzare il movimento di sospensione senza contatto delle parti mobili della piattaforma e ridurre le piccole vibrazioni causate dall'attrito meccanico. Insieme, i due sistemi garantiscono che la precisione di posizionamento della piattaforma sia sempre mantenuta a livello nanometrico in processi chiave come la litografia e l'incisione di chip, ed evitano la deviazione dei modelli dei circuiti dei chip causata dalle vibrazioni.
Eccellente stabilità termica
Le fluttuazioni di temperatura e umidità in officina hanno una grande influenza sulla precisione delle apparecchiature di produzione di chip. Il coefficiente di dilatazione termica del granito è molto basso, generalmente pari a 5-7 × 10⁻⁶/℃, e le sue dimensioni rimangono pressoché invariate al variare della temperatura. Anche se la differenza di temperatura tra il giorno e la notte in officina o la produzione di calore dell'apparecchiatura causano fluttuazioni della temperatura ambiente, i componenti in granito possono rimanere stabili per prevenire la deformazione della piattaforma dovuta alla dilatazione e alla contrazione termica. Allo stesso tempo, il sistema di controllo intelligente della temperatura installato sulla piattaforma monitora la temperatura ambiente in tempo reale, regola automaticamente l'aria condizionata e le apparecchiature di dissipazione del calore e mantiene la temperatura dell'officina a 20 °C ±1 °C. In combinazione con i vantaggi della stabilità termica del granito, la piattaforma garantisce un funzionamento a lungo termine e la precisione di movimento di ciascun asse soddisfa sempre gli standard di precisione nanometrica della produzione di chip, per garantire che le dimensioni del modello litografico del chip siano accurate e la profondità di incisione uniforme.
Soddisfare le esigenze di un ambiente pulito
L'officina di produzione di semiconduttori deve mantenere un elevato livello di pulizia per evitare che le particelle di polvere contaminino il chip. Il granito di per sé non produce polvere e la sua superficie è liscia, non facile da assorbire. La piattaforma nel suo complesso adotta una struttura completamente chiusa o semichiusa per ridurre l'ingresso di polvere esterna. Il sistema di circolazione dell'aria interna è collegato al sistema di condizionamento dell'aria pulita dell'officina per garantire che la pulizia dell'aria interna raggiunga il livello richiesto dalla produzione di chip. In questo ambiente pulito, i componenti in granito non influiranno sulle prestazioni a causa dell'erosione della polvere e anche componenti chiave come sensori e motori ad alta precisione della piattaforma possono funzionare stabilmente, garantendo una precisione nanometrica continua e affidabile per la produzione di chip e aiutando l'industria dei semiconduttori a raggiungere un livello di processo superiore.
Data di pubblicazione: 14-04-2025