Nel mondo preciso della produzione di semiconduttori, i controlli non distruttivi sui wafer sono un elemento chiave per garantire la qualità dei chip. La base in granito, apparentemente insignificante, è in realtà l'"eroe non celebrato" che determina la precisione di rilevamento. In che modo influisce sui risultati dei test? Questo articolo condurrà un'analisi approfondita di dimensioni quali le proprietà dei materiali e la progettazione strutturale.
1. Fondamenta stabili: i vantaggi naturali del granito costituiscono una solida base per la precisione
1. Eccellenti prestazioni sismiche
Durante il funzionamento dell'apparecchiatura per prove non distruttive su wafer, la rotazione del motore e il movimento dei componenti meccanici generano vibrazioni. Se queste vibrazioni non vengono efficacemente soppresse, interferiranno seriamente con l'accuratezza della prova. L'interno del granito è strettamente intrecciato con cristalli minerali come quarzo e feldspato. La sua struttura unica gli conferisce una naturale capacità di assorbimento delle vibrazioni, in grado di assorbire oltre il 90% dell'energia vibrazionale dell'apparecchiatura. I dati di misurazione effettivi di un produttore di semiconduttori mostrano che, dopo l'utilizzo della base in granito, l'ampiezza della vibrazione dell'apparecchiatura di rilevamento è stata ridotta da 12 μm a 2 μm, evitando efficacemente la deviazione del segnale di rilevamento causata dalle vibrazioni.
2. Coefficiente di dilatazione termica estremamente basso
Durante il processo di rilevamento, fattori come il riscaldamento dell'apparecchiatura e le variazioni della temperatura ambiente influiscono sulla stabilità della base della macchina. I materiali comuni si espandono significativamente quando vengono riscaldati, ma il coefficiente di dilatazione termica del granito è solo 1/5 di quello dell'acciaio. Anche se la temperatura ambiente oscilla di 10°C, la sua deformazione può essere ignorata. Ciò consente alla base in granito di fornire una piattaforma di riferimento stabile per l'apparecchiatura di ispezione, garantendo che la posizione relativa tra la sonda di ispezione e il wafer rimanga sempre precisa ed evitando errori di ispezione causati dalla deformazione termica.
In secondo luogo, progettazione precisa: l'ottimizzazione strutturale migliora ulteriormente l'affidabilità del rilevamento
Lavorazione ad alta precisione e garanzia di planarità
La base in granito di alta qualità è lavorata con un'avanzata tecnologia CNC a cinque assi, con una planarità di ±0,5 μm/m, fornendo un riferimento di installazione ultrapiatto per le apparecchiature di ispezione. Nell'ispezione dei wafer, la verticalità e la planarità della sonda di ispezione sono cruciali per i risultati dell'ispezione. Una base in granito ad alta precisione può garantire il posizionamento preciso della sonda, rendendo i dati di ispezione più accurati e affidabili.
2. Adattamento strutturale personalizzato
Le basi in granito delle macchine possono essere personalizzate per adattarsi a diverse apparecchiature di test non distruttivi su wafer e ai requisiti di processo. Ad esempio, per soddisfare i requisiti delle apparecchiature di ispezione ottica per la riflessione della luce, la superficie della base della macchina può essere trattata in modo specifico; per soddisfare i requisiti di installazione delle apparecchiature di test a ultrasuoni, la base può essere prefabbricata con fori di installazione precisi e canaline portacavi, consentendo un'installazione rapida e precisa dell'apparecchiatura e riducendo le deviazioni di rilevamento causate da errori di installazione.
III. Stabilità a lungo termine: ridurre la perdita di precisione causata dalla manutenzione delle apparecchiature
Il granito presenta un'elevata durezza e una forte resistenza all'usura, con una durezza Mohs compresa tra 6 e 7, ovvero tre volte superiore a quella dell'acciaio comune. Durante le operazioni di ispezione a lungo termine, la superficie della base della macchina non è soggetta a usura e può sempre mantenere un buon livello di precisione. Al contrario, le basi realizzate in altri materiali possono causare modifiche al riferimento di installazione dell'apparecchiatura a causa dell'usura, compromettendo così la precisione di rilevamento e richiedendo frequenti operazioni di taratura e manutenzione. La lunga durata e l'elevata stabilità della base in granito riducono efficacemente la frequenza di manutenzione dell'apparecchiatura e riducono il rischio di perdite di precisione che possono verificarsi durante il processo di manutenzione.
Dalla resistenza agli urti, alla resistenza al calore, fino al design preciso, ogni caratteristica della base in granito garantisce l'accuratezza dei test non distruttivi sui wafer. Nell'attuale era della produzione di semiconduttori, che ricerca la massima precisione, scegliere una base in granito di alta qualità è come aggiungere una solida garanzia all'accuratezza e all'affidabilità dei risultati dei test.
Data di pubblicazione: 18 giugno 2025