Come le basi delle macchine in granito ad alta precisione migliorano la precisione delle apparecchiature di ispezione dei wafer.

INel settore della produzione di semiconduttori, la precisione delle apparecchiature di ispezione dei wafer è fondamentale per garantire la qualità dei circuiti integrati. Basi per macchine in granito ad alta precisione, come quelle fornite da ZHHIMG®, svolgono un ruolo fondamentale nel migliorare le prestazioni di tali apparecchiature. Ecco come fanno la differenza.
Eccezionale stabilità dimensionale: il granito vanta un coefficiente di dilatazione termica estremamente basso, pari a circa (4–8)×10⁻⁶/℃, significativamente inferiore a quello di molti metalli. Nell'ambiente strettamente controllato delle fabbriche di semiconduttori, dove anche minime fluttuazioni di temperatura possono causare errori di misurazione, le basi delle macchine in granito rimangono stabili. Questa stabilità garantisce la precisione del posizionamento dei componenti nelle apparecchiature di ispezione dei wafer, prevenendo qualsiasi deviazione indotta termicamente che potrebbe influire sulla precisione dei risultati dell'ispezione.

Smorzamento delle vibrazioni superiore. I pavimenti di produzione sono spesso soggetti a vibrazioni provenienti da diverse fonti. Le proprietà di smorzamento intrinseche del granito, con un rapporto di smorzamento di 0,05-0,1, assorbono e dissipano efficacemente queste vibrazioni. Per ispezioni su wafer
In un'industria che richiede immagini ad alta risoluzione e letture precise dei sensori, la riduzione delle vibrazioni offerta dalle basi in granito è preziosa. Riduce al minimo le interferenze che potrebbero sfocare le immagini o distorcere i dati dei sensori, consentendo all'apparecchiatura di acquisire informazioni chiare e accurate sulla superficie e sulla struttura interna del wafer.
Elevata rigidità e resistenza all'usura: con una densità di circa 3100 kg/m³, i basamenti in granito delle macchine ZHHIMG® offrono una notevole rigidità. Possono supportare i componenti pesanti delle apparecchiature di ispezione wafer senza deformarsi, mantenendo l'allineamento dei sistemi ottici e meccanici. Inoltre, l'elevata durezza del granito (scala Mohs 6-7) e l'eccellente resistenza all'usura garantiscono che la superficie del basamento della macchina rimanga piana e liscia nel tempo. Questa uniformità è essenziale per la precisione a lungo termine, poiché qualsiasi usura o deformazione del basamento potrebbe gradualmente degradare la precisione dell'apparecchiatura.
Inerzia chimica. La produzione di semiconduttori comporta l'esposizione a diverse sostanze chimiche. L'inerzia chimica del granito lo rende resistente alla corrosione causata da queste sostanze. Questa proprietà salvaguarda l'integrità della base della macchina, prevenendo danni indotti da sostanze chimiche che potrebbero compromettere la stabilità e la precisione delle apparecchiature di ispezione.
In conclusione, i basamenti in granito ad alta precisione non sono solo un componente, ma un elemento chiave per soddisfare i severi requisiti di accuratezza delle apparecchiature di ispezione dei wafer. Nella scelta dei basamenti in granito, affidatevi a fornitori affidabili come ZHHIMG®. Grazie alle numerose certificazioni e all'impegno per la qualità, ZHHIMG® garantisce che ogni basamento in granito offra l'affidabilità e le prestazioni necessarie per la produzione avanzata di semiconduttori.