Come le basi delle macchine in granito ad alta precisione migliorano la precisione delle apparecchiature di ispezione dei wafer.

INel settore della produzione di semiconduttori, la precisione delle apparecchiature di ispezione dei wafer è fondamentale per garantire la qualità dei circuiti integrati. Basi in granito ad alta precisione, come quelle fornite da ZHHIMG®, svolgono un ruolo fondamentale nel migliorare le prestazioni di tali apparecchiature. Ecco come fanno la differenza.
Eccezionale stabilità dimensionale: il granito vanta un coefficiente di dilatazione termica estremamente basso, pari a circa (4–8)×10⁻⁶/℃, significativamente inferiore a quello di molti metalli. Nell'ambiente strettamente controllato delle fabbriche di semiconduttori, dove anche piccole fluttuazioni di temperatura possono causare errori di misurazione, le basi delle macchine in granito rimangono stabili. Questa stabilità garantisce che il posizionamento dei componenti nelle apparecchiature di ispezione dei wafer rimanga accurato, prevenendo qualsiasi deviazione indotta termicamente che potrebbe influire sulla precisione dei risultati dell'ispezione.

Smorzamento delle vibrazioni superiore. I pavimenti di produzione sono spesso soggetti a vibrazioni provenienti da varie fonti. Le proprietà di smorzamento intrinseche del granito, con un rapporto di smorzamento di 0,05-0,1, assorbono e dissipano efficacemente queste vibrazioni. Per l'ispezione dei wafer
In un'attività che richiede immagini ad alta risoluzione e letture precise dei sensori, la riduzione delle vibrazioni fornita dalle basi in granito è inestimabile. Riduce al minimo le interferenze che potrebbero sfocare le immagini o distorcere i dati dei sensori, consentendo all'apparecchiatura di acquisire informazioni chiare e accurate sulla superficie e sulla struttura interna del wafer.
Elevata rigidità e resistenza all'usura: con una densità di circa 3100 kg/m³, le basi in granito delle macchine ZHHIMG® offrono una notevole rigidità. Possono supportare i componenti pesanti delle apparecchiature di ispezione wafer senza deformarsi, mantenendo l'allineamento dei sistemi ottici e meccanici. Inoltre, l'elevata durezza del granito (scala di Mohs 6-7) e l'eccellente resistenza all'usura garantiscono che la superficie della base della macchina rimanga piana e liscia nel tempo. Questa uniformità è essenziale per la precisione a lungo termine, poiché qualsiasi usura o deformazione della base potrebbe gradualmente degradare la precisione dell'apparecchiatura.
Inerzia chimica: la produzione di semiconduttori comporta l'esposizione a diverse sostanze chimiche. L'inerzia chimica del granito lo rende resistente alla corrosione causata da queste sostanze. Questa proprietà salvaguarda l'integrità della base della macchina, prevenendo danni indotti da sostanze chimiche che potrebbero compromettere la stabilità e la precisione delle apparecchiature di ispezione.
In conclusione, i basamenti in granito ad alta precisione non sono solo un componente, ma un elemento chiave per soddisfare i severi requisiti di accuratezza delle apparecchiature di ispezione dei wafer. Quando scegliete i basamenti in granito, affidatevi a fornitori affidabili come ZHHIMG®. Con numerose certificazioni e un impegno costante per la qualità, ZHHIMG® garantisce che ogni basamento in granito offra l'affidabilità e le prestazioni necessarie per la produzione avanzata di semiconduttori.