I basamenti in granito per macchine sono ampiamente utilizzati nelle apparecchiature per la lavorazione dei wafer grazie alle loro proprietà superiori, come elevata rigidità, stabilità e precisione. L'assemblaggio, il collaudo e la calibrazione di un basamento in granito per macchine sono processi critici che richiedono la massima attenzione ai dettagli, alla precisione e all'accuratezza. In questo articolo, illustreremo passo dopo passo il processo di assemblaggio, collaudo e calibrazione di un basamento in granito per macchine per la lavorazione dei wafer.
Assemblaggio
Il primo passo è preparare il piano di lavoro in granito, la base e la colonna per il montaggio. Assicurarsi che tutte le superfici siano pulite, asciutte e prive di detriti, polvere o olio. Inserire i perni di livellamento nella base e posizionare il piano di lavoro sopra di esso. Regolare i perni di livellamento in modo che il piano di lavoro sia orizzontale e livellato. Assicurarsi che il piano di lavoro sia a filo con la base e la colonna.
Quindi, installa la colonna sulla base e fissala con i bulloni. Utilizza una chiave dinamometrica per serrare i bulloni alla coppia di serraggio raccomandata dal produttore. Controlla il livello della colonna e, se necessario, regola i perni di livellamento.
Infine, installare il gruppo mandrino sulla parte superiore della colonna. Utilizzare una chiave dinamometrica per serrare i bulloni alla coppia di serraggio raccomandata dal produttore. Verificare il livello del gruppo mandrino e regolare i perni di livellamento, se necessario.
Test
Dopo aver assemblato la base della macchina, il passo successivo è verificarne la funzionalità e la precisione. Collegare l'alimentazione e accendere la macchina. Assicurarsi che tutti i componenti, come motori, ingranaggi, cinghie e cuscinetti, funzionino correttamente e non presentino anomalie o rumori insoliti.
Per verificare la precisione della macchina, utilizzare un comparatore di precisione per misurare l'eccentricità del mandrino. Posizionare il comparatore sul piano di riscontro e ruotare il mandrino. L'eccentricità massima consentita deve essere inferiore a 0,002 mm. Se l'eccentricità è superiore al limite consentito, regolare i perni di livellamento e ripetere il controllo.
Calibrazione
La calibrazione è un passaggio fondamentale per garantire l'accuratezza e la precisione della base della macchina. Il processo di calibrazione prevede il test e la regolazione dei parametri della macchina, come velocità, posizionamento e precisione, per garantire che la macchina soddisfi le specifiche del produttore.
Per calibrare la macchina, è necessario uno strumento di calibrazione, che può includere un interferometro laser, un laser tracker o un ballbar. Questi strumenti misurano il movimento, la posizione e l'allineamento della macchina con elevata precisione.
Iniziare misurando gli assi lineari e angolari della macchina. Utilizzare lo strumento di calibrazione per misurare il movimento e la posizione della macchina su una distanza o un angolo specificato. Confrontare i valori misurati con le specifiche del produttore. In caso di deviazioni, regolare i parametri della macchina, come motori, ingranaggi e azionamenti, per riportare i valori misurati entro i limiti consentiti.
Successivamente, testate la funzione di interpolazione circolare della macchina. Utilizzate lo strumento di calibrazione per creare un percorso circolare e misurare il movimento e la posizione della macchina. Anche in questo caso, confrontate i valori misurati con le specifiche del produttore e, se necessario, regolate i parametri.
Infine, testare la ripetibilità della macchina. Misurare la posizione della macchina in diversi punti per un periodo di tempo specificato. Confrontare i valori misurati e verificare eventuali deviazioni. In caso di deviazioni, regolare i parametri della macchina e ripetere il test.
Conclusione
Assemblare, testare e calibrare una base in granito per macchinari destinati alla lavorazione di wafer è un processo critico che richiede pazienza, attenzione ai dettagli e precisione. Seguendo questi passaggi, è possibile garantire che la macchina soddisfi le specifiche del produttore e funzioni con accuratezza, stabilità e precisione.
Data di pubblicazione: 28 dicembre 2023