Le basi della macchina in granito sono pesantemente utilizzate nei prodotti per le apparecchiature di lavorazione del wafer a causa delle loro proprietà superiori come elevata rigidità, stabilità e precisione. L'assemblaggio, il test e la calibrazione di una base di macchine in granito è un processo critico che richiede la massima attenzione ai dettagli, alla precisione e alla precisione. In questo articolo, discuteremo del processo passo-passo di assemblaggio, test e calibrazione di una base di macchine per granito per i prodotti delle apparecchiature di elaborazione del wafer.
Assemblaggio
Il primo passo è preparare la piastra di superficie del granito, la base e la colonna per il gruppo. Assicurati che tutte le superfici siano pulite, asciutte e prive di detriti, polvere o olio. Inserire i borchie di livellamento nella base e posizionare la piastra di superficie sopra di essa. Regolare i prigionieri di livellamento in modo che la piastra di superficie sia orizzontale e livello. Assicurarsi che la piastra di superficie sia a filo con la base e la colonna.
Quindi, installare la colonna sulla base e fissarla con bulloni. Utilizzare una chiave di coppia per serrare i bulloni al valore di coppia consigliato del produttore. Controllare il livello della colonna e regolare i perni di livellamento se necessario.
Infine, installare il gruppo mandrino sulla parte superiore della colonna. Utilizzare una chiave di coppia per serrare i bulloni al valore di coppia consigliato del produttore. Controllare il livello del gruppo mandrino e regolare i perni di livellamento, se necessario.
Test
Dopo aver assemblato la base della macchina, il passo successivo è quello di testare la sua funzionalità e accuratezza. Collegare l'alimentazione e accendere la macchina. Assicurati che tutti i componenti come motori, ingranaggi, cinture e cuscinetti funzionino correttamente e senza anomalie o rumori insoliti.
Per testare l'accuratezza della macchina, utilizzare un indicatore di quadrante di precisione per misurare il runout del mandrino. Impostare l'indicatore di composizione sulla piastra di superficie e ruotare il mandrino. Il runout massimo consentito dovrebbe essere inferiore a 0,002 mm. Se il runout è maggiore del limite consentito, regolare i perni di livellamento e ricontrollare.
Calibrazione
La calibrazione è il passaggio fondamentale per garantire l'accuratezza e la precisione della base della macchina. Il processo di calibrazione prevede il test e la regolazione dei parametri della macchina, come velocità, posizionamento e accuratezza, per garantire che la macchina soddisfi le specifiche del produttore.
Per calibrare la macchina, avrai bisogno di uno strumento di calibrazione, che include un interferometro laser, un tracker laser o una barra a sfera. Questi strumenti misurano il movimento, la posizione e l'allineamento della macchina con elevata precisione.
Inizia misurando gli assi lineari e angolari della macchina. Utilizzare lo strumento di calibrazione per misurare il movimento e la posizione della macchina su una distanza o angolo specificata. Confronta i valori misurati con le specifiche del produttore. In caso di deviazione, regolare i parametri della macchina, come motori, ingranaggi e unità, per portare i valori misurati entro i limiti consentiti.
Quindi, testare la funzione di interpolazione circolare della macchina. Utilizzare lo strumento di calibrazione per creare un percorso circolare e misurare il movimento e la posizione della macchina. Ancora una volta, confrontare i valori misurati con le specifiche del produttore e regolare i parametri se necessario.
Infine, testare la ripetibilità della macchina. Misurare la posizione della macchina in diversi punti per un periodo specificato. Confronta i valori misurati e verifica eventuali deviazioni. In caso di deviazioni, regola i parametri della macchina e ripeti il test.
Conclusione
L'assemblaggio, il test e la calibrazione di una base di macchine per granito per i prodotti delle apparecchiature di elaborazione dei wafer è un processo critico che richiede pazienza, attenzione ai dettagli e precisione. Seguendo questi passaggi, è possibile garantire che la macchina soddisfi le specifiche e le funzioni del produttore con precisione, stabilità e precisione.
Tempo post: dicembre-28-2023