Le basi delle macchine in granito sono ampiamente utilizzate nei prodotti per apparecchiature per la lavorazione dei wafer grazie alle loro proprietà superiori come elevata rigidità, stabilità e precisione.Assemblare, testare e calibrare la base di una macchina in granito è un processo critico che richiede la massima attenzione ai dettagli, alla precisione e all'accuratezza.In questo articolo discuteremo il processo passo passo di assemblaggio, test e calibrazione della base di una macchina in granito per prodotti per apparecchiature di lavorazione dei wafer.
Assemblaggio
Il primo passo è preparare la piastra di superficie, la base e la colonna in granito per l'assemblaggio.Assicurarsi che tutte le superfici siano pulite, asciutte e prive di detriti, polvere o olio.Inserire i perni di livellamento nella base e posizionare la piastra di superficie sopra di essa.Regolare i perni di livellamento in modo che la piastra di superficie sia orizzontale e livellata.Assicurarsi che la piastra di superficie sia a filo con la base e la colonna.
Successivamente, installa la colonna sulla base e fissala con i bulloni.Utilizzare una chiave dinamometrica per serrare i bulloni al valore di coppia consigliato dal produttore.Controllare il livello della colonna e, se necessario, regolare i perni di livellamento.
Infine, installare il gruppo del mandrino sulla parte superiore della colonna.Utilizzare una chiave dinamometrica per serrare i bulloni al valore di coppia consigliato dal produttore.Controllare il livello del gruppo mandrino e regolare i perni di livellamento, se necessario.
Test
Dopo aver assemblato la base della macchina, il passo successivo è testarne la funzionalità e la precisione.Collegare l'alimentazione e accendere la macchina.Assicurarsi che tutti i componenti come motori, ingranaggi, cinghie e cuscinetti funzionino correttamente e senza anomalie o rumori insoliti.
Per testare la precisione della macchina, utilizzare un comparatore di precisione per misurare l'eccentricità del mandrino.Posizionare il comparatore sulla piastra di superficie e ruotare il mandrino.L'eccentricità massima consentita deve essere inferiore a 0,002 mm.Se l'eccentricità è maggiore del limite consentito, regolare i prigionieri di livellamento e controllare nuovamente.
Calibrazione
La calibrazione è il passaggio fondamentale per garantire l'accuratezza e la precisione della base della macchina.Il processo di calibrazione prevede il test e la regolazione dei parametri della macchina, come velocità, posizionamento e precisione, per garantire che la macchina soddisfi le specifiche del produttore.
Per calibrare la macchina, avrai bisogno di uno strumento di calibrazione, che include un interferometro laser, un laser tracker o un ballbar.Questi strumenti misurano il movimento, la posizione e l'allineamento della macchina con elevata precisione.
Inizia misurando gli assi lineari e angolari della macchina.Utilizzare lo strumento di calibrazione per misurare il movimento e la posizione della macchina su una distanza o un angolo specificato.Confrontare i valori misurati con le specifiche del produttore.In caso di deviazioni, regolare i parametri della macchina, come motori, ingranaggi e azionamenti, per riportare i valori misurati entro i limiti consentiti.
Successivamente, testare la funzione di interpolazione circolare della macchina.Utilizza lo strumento di calibrazione per creare un percorso circolare e misurare il movimento e la posizione della macchina.Confrontare nuovamente i valori misurati con le indicazioni del produttore e, se necessario, regolare i parametri.
Infine, testare la ripetibilità della macchina.Misurare la posizione della macchina in diversi punti in un periodo specificato.Confrontare i valori misurati e verificare eventuali deviazioni.In caso di deviazioni, regolare i parametri della macchina e ripetere il test.
Conclusione
L'assemblaggio, il test e la calibrazione della base di una macchina in granito per le apparecchiature per la lavorazione dei wafer è un processo critico che richiede pazienza, attenzione ai dettagli e precisione.Seguendo questi passaggi, è possibile garantire che la macchina soddisfi le specifiche e le funzioni del produttore con accuratezza, stabilità e precisione.
Orario di pubblicazione: 28 dicembre 2023