Come verificare la precisione di una piattaforma di precisione in granito? Assicurarsi che la precisione sia standard?

In settori come la produzione di semiconduttori e gli strumenti di misura di precisione, la precisione delle piattaforme di precisione in granito determina direttamente la qualità operativa delle apparecchiature. Per garantire che la precisione della piattaforma soddisfi gli standard, è necessario concentrarsi su due aspetti: l'individuazione di indicatori chiave e la conformità alle norme standard.

Rilevamento dell'indicatore principale: controllo multidimensionale della precisione
Rilevamento della planarità: determinazione della "planarità" del piano di riferimento
La planarità è l'indicatore fondamentale delle piattaforme di precisione in granito e viene solitamente misurata tramite interferometri laser o livelli elettronici. L'interferometro laser è in grado di misurare con precisione anche le più piccole ondulazioni sulla superficie della piattaforma emettendo un raggio laser e sfruttando il principio dell'interferenza luminosa, con una precisione che raggiunge il livello sub-micron. La livella elettronica effettua la misurazione muovendosi più volte e traccia una mappa tridimensionale del contorno della superficie della piattaforma per rilevare eventuali sporgenze o depressioni locali. Ad esempio, le piattaforme in granito utilizzate nelle macchine per fotolitografia a semiconduttore devono avere una planarità di ±0,5 μm/m, il che significa che la differenza di altezza entro una lunghezza di 1 metro non deve superare mezzo micrometro. Solo grazie a strumenti di rilevamento ad alta precisione è possibile garantire questo rigoroso standard.
2. Rilevamento della rettilineità: garantire la "rettilineità" del movimento lineare
Per le piattaforme che ospitano componenti mobili di precisione, la rettilineità è di vitale importanza. I metodi più comuni per il rilevamento sono il metodo a filo o il collimatore laser. Il metodo a filo prevede la sospensione di fili di acciaio ad alta precisione e il confronto della distanza tra la superficie della piattaforma e i fili di acciaio per determinarne la rettilineità. Il collimatore laser sfrutta le caratteristiche di propagazione lineare del laser per rilevare l'errore lineare della superficie di installazione della guida della piattaforma. Se la rettilineità non soddisfa lo standard, l'apparecchiatura si sposterà durante il movimento, compromettendo la precisione di elaborazione o misurazione.
3. Rilevamento della rugosità superficiale: garantire la "finezza" del contatto
La rugosità superficiale della piattaforma influisce sulla precisione di installazione dei componenti. Generalmente, per la rilevazione si utilizza un rugosimetro a stilo o un microscopio ottico. Lo strumento a stilo registra le variazioni di altezza del profilo microscopico mettendo a contatto la superficie della piattaforma con una sonda sottile. I microscopi ottici possono osservare direttamente la struttura superficiale. Nelle applicazioni ad alta precisione, la rugosità superficiale delle piattaforme in granito deve essere controllata a Ra≤0,05 μm, equivalente a un effetto specchio, garantendo la perfetta aderenza dei componenti di precisione durante l'installazione ed evitando vibrazioni o spostamenti causati da fessure.
Gli standard di precisione seguono: norme internazionali e controllo interno dell'impresa
Attualmente, a livello internazionale, gli standard ISO 25178 e GB/T 24632 sono comunemente utilizzati come base per determinare l'accuratezza delle piattaforme in granito, e sono disponibili classificazioni chiare per indicatori come planarità e rettilineità. Inoltre, le aziende manifatturiere di fascia alta spesso stabiliscono standard di controllo interni più rigorosi. Ad esempio, il requisito di planarità per la piattaforma in granito della macchina fotolitografica è superiore del 30% rispetto allo standard internazionale. Durante l'esecuzione dei test, i dati misurati devono essere confrontati con gli standard corrispondenti. Solo le piattaforme pienamente conformi agli standard possono garantire prestazioni stabili nelle apparecchiature di precisione.
Il controllo dell'accuratezza delle piattaforme di precisione in granito è un progetto sistematico. Solo testando rigorosamente indicatori fondamentali come planarità, rettilineità e rugosità superficiale, e rispettando gli standard internazionali e aziendali, è possibile garantire l'elevata precisione e affidabilità della piattaforma, gettando solide basi per settori manifatturieri di fascia alta come quello dei semiconduttori e degli strumenti di precisione.