Il granito è un materiale duro e resistente che viene spesso utilizzato nel settore delle costruzioni. Tuttavia, ha anche proprietà che lo rendono utile nella produzione di semiconduttori, in particolare nella fabbricazione e nella lavorazione dei circuiti integrati. I componenti di granito, come tavoli in granito e blocchi di granito, sono ampiamente utilizzati per la loro stabilità, planarità e coefficiente di espansione termica bassa.
Uno degli usi principali dei componenti di granito nella produzione di semiconduttori è nel processo di fabbricazione. I wafer di silicio, i mattoni di base dei circuiti integrati, devono essere fabbricati con alta precisione e precisione. Qualsiasi distorsione o movimento durante il processo può portare a difetti che possono influire sulla qualità e la funzionalità dei circuiti integrati. I tavoli di granito, con la loro elevata stabilità e piattalità, offrono una buona piattaforma per le attrezzature di elaborazione del wafer. Sono anche resistenti all'espansione termica e alla contrazione causate dal riscaldamento e dal raffreddamento richiesto nel processo.
I blocchi di granito sono anche utilizzati nella lavorazione dei semiconduttori per la loro stabilità termica. Durante i processi di incisione o deposizione, i gas caldi o i plasma vengono utilizzati per modificare la superficie del wafer di silicio. La temperatura del wafer deve essere controllata per garantire che il processo venga effettuato in modo efficiente e accurato. I blocchi di granito, con il loro basso coefficiente di espansione termica, aiutano a stabilizzare la temperatura del wafer, riducendo il rischio di fluttuazioni di temperatura che potrebbero influire sulla qualità del materiale trasformato.
A parte i processi di fabbricazione e lavorazione, i componenti di granito vengono utilizzati anche nelle fasi della metrologia e dell'ispezione della produzione di semiconduttori. Vengono effettuate misurazioni della metrologia per garantire che le dimensioni, la forma e la posizione delle strutture sul wafer siano all'interno delle specifiche richieste. I blocchi di granito sono usati come standard di riferimento in queste misurazioni a causa della loro stabilità dimensionale e accuratezza. Sono anche utilizzati nelle fasi di ispezione, in cui la qualità dei circuiti integrati viene verificata in ingrandimento elevato.
Nel complesso, l'uso di componenti in granito nella produzione di semiconduttori è aumentato negli ultimi anni. La necessità di alta precisione, precisione e stabilità nella fabbricazione e nella lavorazione dei circuiti integrati ha guidato l'adozione di questi materiali da parte dei produttori di semiconduttori. Le proprietà uniche del granito, come la sua durezza, stabilità e coefficiente di espansione termica bassa, lo rendono una scelta eccellente per l'uso in questi processi. Con il continuo sviluppo e il miglioramento della tecnologia dei semiconduttori, si prevede che l'uso dei componenti in granito crescerà ulteriormente in futuro.
Tempo post: DEC-05-2023