Nelle apparecchiature di produzione di semiconduttori e optoelettronici, il granito viene utilizzato principalmente in componenti chiave come piattaforme di movimento di precisione, basi per guide, strutture di supporto per l'isolamento dalle vibrazioni e substrati per l'installazione di componenti ottici. Questi componenti presentano requisiti estremamente elevati in termini di precisione, stabilità e tolleranza ambientale. Le caratteristiche del granito consentono di soddisfare con precisione i severi requisiti dell'industria dei semiconduttori e dell'optoelettronici. Di seguito vengono analizzati specifici scenari applicativi e i relativi vantaggi:
I. Parti principali dell'applicazione
Piattaforme di movimento di precisione (come piattaforme wafer per macchine fotolitografiche e macchine per incollaggio)
Viene utilizzato per trasportare componenti di precisione come wafer e lenti ottiche, ottenendo movimenti di traslazione e rotazione con una precisione su scala nanometrica.
Attrezzatura tipica: tavolo portapezzo della macchina fotolitografica, piattaforma di posizionamento dell'apparecchiatura di misura.
Base della guida e struttura del telaio
Come base di installazione per guide lineari e guide a flottazione pneumatica, supporta il meccanismo di movimento principale dell'attrezzatura.
Attrezzatura tipica: telai meccanici di apparecchiature per il confezionamento di semiconduttori e strumenti di ispezione ottica.
Supporto per l'isolamento dalle vibrazioni e struttura stabilizzante
Viene utilizzato per isolare le vibrazioni esterne (ad esempio quelle provenienti dal pavimento della fabbrica o durante il funzionamento delle apparecchiature), garantendo la stabilità dei sistemi ottici o dei macchinari di precisione.
Scenari tipici: Supporto di base per microscopi ottici e interferometri laser.
Substrato di montaggio dei componenti ottici
Fissare dispositivi ottici quali specchi, prismi e laser per garantire la stabilità a lungo termine della precisione di allineamento del sistema del percorso ottico.
Attrezzatura tipica: apparecchiature di confezionamento optoelettronico, sistemi di accoppiamento di fibre ottiche.
Data di pubblicazione: 29 maggio 2025