Nel mondo della produzione di semiconduttori, attrezzature precise e accurate sono fondamentali per produrre chip di alta qualità.Numerose parti di un impianto di produzione di semiconduttori devono utilizzare materiali con proprietà specifiche per garantire un funzionamento affidabile e di alta precisione.
Un materiale che è diventato un componente standard delle apparecchiature per semiconduttori è il granito.Conosciuto per la sua resistenza e stabilità, il granito è un materiale eccellente per la costruzione e la fabbricazione di componenti utilizzati nelle apparecchiature per semiconduttori.Ecco alcune delle parti delle apparecchiature a semiconduttore che comunemente utilizzano materiale di granito:
1. Piastre di base
Le piastre di base delle apparecchiature a semiconduttore devono essere estremamente piatte e stabili per ridurre al minimo le vibrazioni e le variazioni di temperatura.E il granito è uno dei pochi materiali in grado di soddisfare questi requisiti.Il granito è un materiale dimensionalmente stabile che resiste alla deformazione e all'espansione termica, garantendo che la piastra di base mantenga la sua planarità nel tempo.
2. Fasi
Gli stadi sono componenti critici nelle apparecchiature per semiconduttori che eseguono movimenti precisi per processi di produzione come il posizionamento, l'incisione e la deposizione dei wafer.Gli stadi in granito sono ampiamente utilizzati nelle apparecchiature per semiconduttori grazie alla loro elevata rigidità, bassa dilatazione termica ed eccellenti proprietà di smorzamento.Con i palcoscenici in granito i movimenti sono più precisi e l'attrezzatura presenta un minor rischio di guasto.
3. Guide lineari
Le guide lineari sono dispositivi meccanici che forniscono movimento lineare lungo due binari paralleli.Devono essere estremamente stabili e precisi e il granito è il materiale ideale per questo scopo.L'elevata rigidità e le proprietà di smorzamento del granito lo rendono una scelta popolare per le guide lineari utilizzate nelle apparecchiature per semiconduttori, garantendo stabilità e precisione nel processo di produzione.
4. Mandrini
I mandrini vengono utilizzati per trattenere e posizionare i wafer durante vari processi di produzione.I mandrini in granito sono popolari per la loro planarità e stabilità termica.A causa della bassa dilatazione termica del granito, i mandrini realizzati con questo materiale non si deformano né cambiano dimensioni se esposti a variazioni di temperatura.
5. Piastre di ispezione
Le piastre di ispezione vengono utilizzate per verificare la qualità dei prodotti fabbricati in apparecchiature a semiconduttori.Queste piastre devono essere estremamente piatte e stabili e in grado di riflettere la luce in modo accurato.L'elevata riflettività, la planarità della superficie e la stabilità dimensionale del granito lo rendono una scelta popolare per le piastre di ispezione nelle apparecchiature per semiconduttori.
In conclusione, gli elementi in granito sono ampiamente utilizzati per parti di precisione nelle apparecchiature a semiconduttore e si prevede che il loro utilizzo si espanderà grazie alle loro eccellenti proprietà.Grazie alla loro elevata rigidità, bassa dilatazione termica ed eccellenti proprietà di smorzamento, gli elementi in granito forniscono la stabilità, la precisione e la ripetibilità necessarie per eseguire operazioni su scala nanometrica nelle apparecchiature a semiconduttore.Le aziende che producono apparecchiature per semiconduttori di alta qualità investono nei migliori materiali per offrire ai propri prodotti le migliori possibilità di successo e il granito continua ad essere un materiale di riferimento grazie alle sue eccellenti proprietà e affidabilità.
Orario di pubblicazione: 19 marzo 2024