Nel mondo della produzione di semiconduttori, attrezzature precise e accurate sono fondamentali per produrre chip di alta qualità. Numerose parti di un impianto di produzione di semiconduttori devono utilizzare materiali con proprietà specifiche per garantire un funzionamento affidabile e di alta precisione.
Un materiale che è diventato un componente standard delle apparecchiature a semiconduttore è il granito. Noto per la sua resistenza e stabilità, il granito è un materiale eccellente per la costruzione e la fabbricazione di componenti utilizzati nelle apparecchiature a semiconduttore. Ecco alcuni componenti delle apparecchiature a semiconduttore che utilizzano comunemente il granito:
1. Piastre di base
Le piastre di base delle apparecchiature a semiconduttore devono essere estremamente piatte e stabili per ridurre al minimo le vibrazioni e le variazioni di temperatura. Il granito è uno dei pochi materiali in grado di soddisfare questi requisiti. Il granito è un materiale dimensionalmente stabile che resiste alla deformazione e all'espansione termica, garantendo che la piastra di base mantenga la sua planarità nel tempo.
2. Fasi
Le piattaforme sono componenti critici nelle apparecchiature per semiconduttori che eseguono movimenti precisi per processi di produzione come il posizionamento dei wafer, l'incisione e la deposizione. Le piattaforme in granito sono ampiamente utilizzate nelle apparecchiature per semiconduttori grazie alla loro elevata rigidità, alla bassa dilatazione termica e alle eccellenti proprietà di smorzamento. Con le piattaforme in granito, i movimenti sono più precisi e l'apparecchiatura presenta un rischio inferiore di guasti.
3. Guide lineari
Le guide lineari sono dispositivi meccanici che forniscono un movimento lineare lungo due binari paralleli. Devono essere estremamente stabili e precisi, e il granito è il materiale ideale a questo scopo. L'elevata rigidità e le proprietà di smorzamento del granito lo rendono una scelta popolare per le guide lineari utilizzate nelle apparecchiature per semiconduttori, garantendo stabilità e precisione nel processo di produzione.
4. Chucks
I mandrini vengono utilizzati per trattenere e posizionare i wafer durante vari processi di produzione. I mandrini in granito sono apprezzati per la loro planarità e stabilità termica. Grazie alla bassa dilatazione termica del granito, i mandrini realizzati in questo materiale non si deformano né cambiano dimensioni se esposti a variazioni di temperatura.
5. Piastre di ispezione
Le piastre di ispezione vengono utilizzate per verificare la qualità dei prodotti realizzati nelle apparecchiature per semiconduttori. Queste piastre devono essere estremamente piatte e stabili, nonché in grado di riflettere la luce con precisione. L'elevata riflettività, la planarità superficiale e la stabilità dimensionale del granito lo rendono una scelta diffusa per le piastre di ispezione nelle apparecchiature per semiconduttori.
In conclusione, gli elementi in granito sono ampiamente utilizzati per componenti di precisione nelle apparecchiature a semiconduttore e si prevede che il loro utilizzo si espanderà ulteriormente grazie alle loro eccellenti proprietà. Grazie all'elevata rigidità, alla bassa dilatazione termica e alle eccellenti proprietà di smorzamento, gli elementi in granito offrono la stabilità, la precisione e la ripetibilità necessarie per eseguire operazioni su scala nanometrica nelle apparecchiature a semiconduttore. Le aziende che producono apparecchiature a semiconduttore di alta qualità investono nei migliori materiali per garantire ai propri prodotti le migliori possibilità di successo, e il granito continua a essere un materiale di riferimento grazie alle sue eccellenti proprietà e alla sua affidabilità.
Data di pubblicazione: 19-03-2024