N Il mondo della produzione di semiconduttori, apparecchiature precise e accurate è fondamentale per produrre chip di alta qualità. Esistono numerose parti di un impianto di produzione a semiconduttore che deve utilizzare materiali con proprietà specifiche per garantire un funzionamento affidabile e ad alta precisione.
Un materiale che è diventato un componente standard delle apparecchiature a semiconduttore è il granito. Conosciuto per la sua resistenza e stabilità, il granito è un materiale eccellente per la costruzione e la fabbricazione di componenti utilizzati nelle apparecchiature a semiconduttore. Ecco alcune delle parti delle apparecchiature a semiconduttore che usano comunemente materiale in granito:
1. Piatti di base
Le piastre di base delle apparecchiature a semiconduttore devono essere estremamente piatte e stabili per ridurre al minimo le vibrazioni e le variazioni di temperatura. E il granito è uno dei pochi materiali che possono soddisfare questi requisiti. Il granito è un materiale dimensionalmente stabile che resiste a deformare ed espansione termica, garantendo che la piastra di base mantenga la sua planarità nel tempo.
2. Fase
Le fasi sono componenti fondamentali nelle apparecchiature a semiconduttore che eseguono movimenti precisi per processi di produzione come posizionamento del wafer, attacco e deposizione. Gli stadi di granito sono ampiamente utilizzati nelle apparecchiature a semiconduttore a causa della loro elevata rigidità, bassa espansione termica e eccellenti proprietà di smorzamento. Con le fasi di granito, i movimenti sono più precisi e l'attrezzatura ha un minor rischio di fallimento.
3. Guide lineari
Le guide lineari sono dispositivi meccanici che forniscono movimento lineare lungo due binari paralleli. Devono essere estremamente stabili e precisi e il granito è il materiale ideale a questo scopo. Le proprietà ad alta posizione e smorzamento del granito lo rendono una scelta popolare per le guide lineari utilizzate nelle apparecchiature a semiconduttore, garantendo stabilità e precisione nel processo di produzione.
4. Chucks
I Chucks vengono utilizzati per trattenere e posizionare i wafer durante vari processi di produzione. I mandrini dei graniti sono popolari a causa della loro planarità e stabilità termica. A causa della bassa espansione termica del granito, i mandrini realizzati da questo materiale non deformano o cambiano le dimensioni quando esposti alle variazioni di temperatura.
5. Piatti di ispezione
Le piastre di ispezione vengono utilizzate per verificare la qualità dei prodotti fabbricati in apparecchiature a semiconduttore. Queste piastre devono essere estremamente piatte e stabili e in grado di riflettere accuratamente la luce. L'elevata riflettività del granito, la piattaforma superficiale e la stabilità dimensionale lo rendono una scelta popolare per le piastre di ispezione nelle apparecchiature a semiconduttore.
In conclusione, gli elementi di granito sono ampiamente utilizzati per le parti di precisione nelle apparecchiature a semiconduttore e il loro uso è previsto per espandersi a causa delle loro eccellenti proprietà. Con la loro elevata rigidità, bassa espansione termica e eccellenti proprietà di smorzamento, gli elementi in granito forniscono la stabilità, l'accuratezza e la ripetibilità richieste per l'esecuzione di operazioni di nano-scala nelle apparecchiature a semiconduttore. Le aziende che producono attrezzature per semiconduttori di alta qualità investono nei migliori materiali per offrire ai loro prodotti le migliori possibilità di successo e il granito continua ad essere un materiale di riferimento grazie alle sue eccellenti proprietà e affidabilità.
Tempo post: marzo-19-2024