I materiali in granito sono ampiamente utilizzati nell'industria dei semiconduttori grazie alle loro eccellenti caratteristiche, come l'elevata stabilità, la bassa dilatazione termica e l'elevata resistenza alla corrosione. Queste proprietà rendono il granito un materiale ideale per la costruzione di componenti ad alta precisione in un sistema di trasferimento wafer.
Nel processo di produzione dei semiconduttori, il sistema di trasferimento dei wafer svolge un ruolo fondamentale nel trasporto dei wafer attraverso le diverse fasi del processo produttivo. Precisione e accuratezza sono requisiti essenziali per questi sistemi, poiché anche piccole deviazioni potrebbero compromettere l'intero processo. Pertanto, i componenti del sistema di trasferimento dei wafer devono essere realizzati con materiali di alta qualità e il granito soddisfa tali criteri.
Alcune parti del sistema di trasferimento wafer realizzate in materiali granitici includono:
1. Tavolo con mandrino a vuoto
Il tavolo con mandrino a vuoto viene utilizzato per sostenere il wafer durante il processo e deve avere una superficie stabile per garantire che il wafer non venga danneggiato. Il granito è un materiale ideale per realizzare questo tavolo perché ha una superficie piana e non porosa che garantisce elevata stabilità e precisione. Inoltre, il granito ha un basso coefficiente di dilatazione termica, che lo rende resistente alle variazioni di temperatura che potrebbero causare alterazioni dimensionali nel wafer.
2. Stadio con cuscinetto d'aria
Il piano di lavoro con cuscinetti ad aria viene utilizzato per trasportare il wafer attraverso le diverse fasi del processo di produzione. Il piano di lavoro è progettato per garantire un movimento senza attrito, che richiede elevata precisione e stabilità. Il granito viene utilizzato in questa applicazione perché è una pietra rigida e dura, resistente alla deformazione e all'usura nel tempo.
3. Guide di movimento lineare
Le guide lineari vengono utilizzate per guidare la piattaforma con cuscinetti ad aria e devono essere posizionate con precisione per ridurre al minimo gli errori. Per la costruzione di queste guide viene utilizzato il granito, che offre un'eccellente stabilità meccanica e resistenza. Il materiale è anche resistente alla corrosione, il che garantisce la longevità del sistema di guida.
4. Apparecchiature metrologiche
Le apparecchiature metrologiche vengono utilizzate per misurare le dimensioni e le proprietà del wafer durante il processo di produzione. Il granito è un materiale ideale per la costruzione di queste apparecchiature perché presenta elevata rigidità, bassa dilatazione e minima deformazione sotto carico. Inoltre, la stabilità termica del granito garantisce che le apparecchiature metrologiche rimangano stabili e precise nel tempo.
In conclusione, l'industria dei semiconduttori si basa su precisione e accuratezza, e i materiali in granito si sono dimostrati altamente affidabili e stabili nel processo di produzione. Considerando che molti componenti critici del sistema di trasferimento dei wafer richiedono elevata stabilità, precisione e bassa dilatazione termica, gli ingegneri si sono rivolti ai materiali in granito per soddisfare questi requisiti critici.
Data di pubblicazione: 19-03-2024