I materiali in granito sono ampiamente utilizzati nell'industria dei semiconduttori grazie alle loro eccellenti caratteristiche, come elevata stabilità, bassa dilatazione termica ed elevata resistenza alla corrosione.Queste proprietà rendono il granito un materiale ideale per la costruzione di componenti di alta precisione in un sistema di trasferimento di wafer.
Nel processo di produzione dei semiconduttori, il sistema di trasferimento dei wafer svolge un ruolo fondamentale nel trasporto dei wafer attraverso le diverse fasi del processo di produzione.Precisione e accuratezza sono i requisiti essenziali per questi sistemi poiché anche piccole deviazioni potrebbero compromettere l'intero processo.Pertanto, i componenti del sistema di trasferimento dei wafer devono essere realizzati con materiali di alta qualità e il granito soddisfa tali criteri.
Alcune parti del sistema di trasferimento dei wafer realizzate con materiali di granito includono:
1. Tavolo del mandrino a vuoto
Il piano del mandrino a vuoto viene utilizzato per trattenere il wafer durante il processo e deve avere una superficie stabile per garantire che il wafer non venga danneggiato.Il granito è un materiale ideale per realizzare questo tavolo perché ha una superficie piana e non porosa che garantisce elevata stabilità e precisione.Inoltre, il granito ha un basso coefficiente di dilatazione termica, che lo rende resistente alle variazioni di temperatura che potrebbero causare variazioni dimensionali nel wafer.
2. Stadio con cuscinetto d'aria
La fase del cuscinetto d'aria viene utilizzata per trasportare il wafer attraverso le diverse fasi del processo di produzione.Il palco è progettato per fornire un movimento senza attrito, che richiede elevata precisione e stabilità.Il granito viene utilizzato in questa applicazione perché è una pietra rigida e dura, resistente alla deformazione e all'usura nel tempo.
3. Guide di movimento lineare
Le guide di movimento lineare vengono utilizzate per guidare la fase con cuscinetto d'aria e devono essere posizionate accuratamente per ridurre al minimo gli errori.Per costruire questa guida viene utilizzato il granito perché ha un'eccellente stabilità meccanica e resistenza.Il materiale è anche resistente alla corrosione, il che garantisce la longevità del sistema di guida.
4. Attrezzature metrologiche
Le apparecchiature metrologiche vengono utilizzate per misurare le dimensioni e le proprietà del wafer durante il processo di produzione.Il granito è un materiale ideale per la costruzione di queste apparecchiature poiché presenta un'elevata rigidità, una bassa espansione e una deformazione minima sotto carico.Inoltre, la stabilità termica del granito garantisce che le apparecchiature metrologiche rimangano stabili e precise nel tempo.
In conclusione, l’industria dei semiconduttori fa affidamento sulla precisione e sull’accuratezza e i materiali in granito hanno dimostrato di essere altamente affidabili e stabili nel processo di produzione.Dato che molti componenti critici nel sistema di trasferimento dei wafer richiedono elevata stabilità, precisione e bassa dilatazione termica, gli ingegneri si sono rivolti ai materiali in granito per soddisfare questi requisiti critici.
Orario di pubblicazione: 19 marzo 2024