I materiali di granito sono ampiamente utilizzati nel settore dei semiconduttori a causa delle loro eccellenti caratteristiche, come elevata stabilità, bassa espansione termica e elevata resistenza alla corrosione. Queste proprietà rendono il granito un materiale ideale per la costruzione di componenti ad alta precisione in un sistema di trasferimento di wafer.
Nel processo di produzione dei semiconduttori, il sistema di trasferimento di wafer svolge un ruolo fondamentale nel trasporto di wafer in diverse fasi del processo di produzione. La precisione e l'accuratezza sono i requisiti essenziali per questi sistemi poiché anche lievi deviazioni potrebbero compromettere l'intero processo. Pertanto, i componenti nel sistema di trasferimento del wafer devono essere realizzati con materiali di alta qualità e il granito soddisfa tali criteri.
Alcune parti del sistema di trasferimento del wafer realizzate con materiali in granito includono:
1. Tavolo da aspirapolvere
Il tavolo del mandrino del vuoto viene utilizzato per trattenere il wafer durante il processo e deve avere una superficie stabile per garantire che il wafer non sia danneggiato. Il granito è un materiale ideale per realizzare questo tavolo perché ha una superficie piana e non porosa che fornisce elevata stabilità e precisione. Inoltre, il granito ha un basso coefficiente di espansione termica, rendendolo resistente alle variazioni di temperatura che potrebbero causare cambiamenti dimensionali nel wafer.
2. Stage di porta d'aria
La fase di porta d'aria viene utilizzata per trasportare il wafer attraverso diverse fasi del processo di produzione. Il palcoscenico è progettato per fornire un movimento senza attrito, che richiede alta precisione e stabilità. Il granito viene utilizzato in questa applicazione perché è una pietra rigida e dura e resiste alla deformazione e all'usura nel tempo.
3. Guide di movimento lineare
Le guide di movimento lineare vengono utilizzate per guidare la fase di porta d'aria e devono essere posizionate accuratamente per ridurre al minimo gli errori. Il granito viene utilizzato per costruire questa guida perché ha un'eccellente stabilità meccanica e resistenza. Il materiale è anche resistente alla corrosione, che garantisce la longevità del sistema guida.
4. Attrezzatura metrologica
Le attrezzature metrologiche vengono utilizzate per misurare le dimensioni e le proprietà del wafer durante il processo di produzione. Il granito è un materiale ideale per la costruzione di questa attrezzatura perché ha un'alta rigidità, bassa espansione e deformazione minima sotto il carico. Inoltre, la stabilità termica di Granite garantisce che l'attrezzatura metrologica rimanga stabile e accurata nel tempo.
In conclusione, l'industria dei semiconduttori si basa sulla precisione e sulla precisione e i materiali in granito hanno dimostrato di essere altamente affidabili e stabili nel processo di produzione. Con molti componenti critici nel sistema di trasferimento del wafer che richiedono elevata stabilità, precisione e bassa espansione termica, gli ingegneri si sono rivolti a materiali in granito per soddisfare questi requisiti critici.
Tempo post: marzo-19-2024