Campo di applicazione del modulo di movimento ad altissima precisione con galleggiante ad aria ad asse singolo con base in granito.

Produzione di semiconduttori: nel processo di produzione dei chip, la fotolitografia deve trasferire con precisione il pattern del circuito al wafer. La base in granito del modulo di movimento ad alta precisione con flottazione ad aria ad asse singolo può fornire un posizionamento ad alta precisione e un supporto stabile per il tavolo del wafer nell'apparecchiatura litografica. Ad esempio, ASML e altri produttori di macchine litografiche di fama internazionale utilizzano moduli di movimento con flottazione ad aria con base in granito nelle loro apparecchiature di fascia alta, in grado di controllare la precisione di posizionamento del wafer a livello nanometrico per garantire l'accuratezza del pattern litografico, migliorando così l'integrazione e le prestazioni del chip.
Misura di precisione: la CMM è un'apparecchiatura di misura di precisione comunemente utilizzata nella produzione industriale, che viene utilizzata per misurare dimensioni, forma e precisione di posizionamento del pezzo. Il modulo di movimento ad alta precisione del galleggiante ad aria monoasse su base in granito può essere utilizzato come piattaforma di movimento della CMM, in grado di realizzare un movimento lineare ad alta precisione e fornire una traiettoria di movimento stabile per la sonda di misura. Ad esempio, la CMM di fascia alta di Hexagon utilizza questa combinazione per misurare componenti di grandi dimensioni e complessi con una precisione di misura fino al micron, fornendo una solida garanzia per il controllo qualità dei componenti nei settori automobilistico, aerospaziale e altri.
Settore aerospaziale: nella lavorazione e nel collaudo di componenti aerospaziali è richiesta un'elevata precisione. Ad esempio, la lavorazione delle pale dei motori aeronautici richiede un controllo preciso della traiettoria di movimento dell'utensile per garantire la precisione del profilo della pala. La base in granito del modulo di movimento ad altissima precisione con galleggiante ad aria monoasse può essere applicata al centro di lavoro a cinque assi e ad altre apparecchiature per fornire un controllo di movimento ad alta precisione per l'utensile e garantire che la precisione di lavorazione della pala soddisfi i requisiti di progettazione. Allo stesso tempo, nel processo di assemblaggio del motore aeronautico, è necessario utilizzare strumenti di misura ad alta precisione per rilevare la precisione di assemblaggio dei componenti. Il modulo di movimento con galleggiante ad aria con base in granito può fornire un supporto stabile e un movimento preciso per gli strumenti di misura, garantendo la qualità dell'assemblaggio.
Campo di ispezione ottica: nel processo di produzione e collaudo dei componenti ottici, è necessario eseguire il posizionamento e la misurazione ad alta precisione dei componenti ottici. Ad esempio, nella produzione di componenti ottici ad alta precisione come specchi e lenti, è necessario utilizzare interferometri e altre apparecchiature per rilevare la precisione della forma superficiale. La base in granito del modulo di movimento ad ultra-precisione ad asse singolo con galleggiamento ad aria può essere utilizzata come piattaforma di movimento dell'interferometro, che può raggiungere una precisione di posizionamento sub-micrometrica e fornire un supporto dati accurato per il rilevamento dei componenti ottici. Inoltre, nelle apparecchiature di lavorazione laser, è anche necessario utilizzare una piattaforma di movimento ad alta precisione per controllare la traiettoria di scansione del raggio laser; la base in granito del modulo di movimento ad aria può soddisfare questo requisito, per ottenere una lavorazione laser ad alta precisione.