Campo di applicazione del modulo di movimento di ultra-precisione a galleggiante pneumatico monoasse con base in granito.

Produzione di semiconduttori: nel processo di produzione dei chip, la fotolitografia richiede il trasferimento preciso del pattern del circuito sul wafer. La base in granito del modulo di movimento ultra-preciso a singolo asse flottante ad aria garantisce un posizionamento di alta precisione e un supporto stabile per il piano del wafer nell'apparecchiatura di litografia. Ad esempio, ASML e altri produttori di macchine per litografia di fama internazionale utilizzano moduli di movimento a flottaggio ad aria con base in granito nelle loro apparecchiature di fascia alta, che consentono di controllare la precisione di posizionamento del wafer a livello nanometrico, garantendo l'accuratezza del pattern litografico e migliorando così l'integrazione e le prestazioni del chip.
Campo della misurazione di precisione: la CMM (Computational Mass Metrology) è un'apparecchiatura di misurazione di precisione comunemente utilizzata nella produzione industriale per misurare con precisione dimensioni, forma e posizione dei pezzi. Il modulo di movimento di ultra-precisione a singolo asse con base in granito può essere utilizzato come piattaforma di movimento della CMM, consentendo un movimento lineare di alta precisione e fornendo una traiettoria stabile per la sonda di misura. Ad esempio, la CMM di fascia alta di Hexagon utilizza questa combinazione per misurare componenti di grandi dimensioni e complessi con una precisione di misura fino al livello del micron, offrendo una solida garanzia per il controllo qualità dei componenti nei settori automobilistico, aerospaziale e in altri settori.
Settore aerospaziale: nella lavorazione e nel collaudo di componenti aerospaziali è richiesta un'elevata precisione. Ad esempio, la lavorazione delle pale dei motori aeronautici richiede un controllo preciso della traiettoria di movimento dell'utensile per garantire l'accuratezza del profilo della pala. Il modulo di movimento ultra-preciso a flottaggio pneumatico monoasse con base in granito può essere applicato al centro di lavoro a cinque assi e ad altre apparecchiature per fornire un controllo del movimento di alta precisione all'utensile e garantire che l'accuratezza di lavorazione della pala soddisfi i requisiti di progettazione. Allo stesso tempo, nel processo di assemblaggio del motore aeronautico, è necessario utilizzare anche apparecchiature di misurazione di alta precisione per rilevare l'accuratezza di assemblaggio dei componenti. Il modulo di movimento a flottaggio pneumatico con base in granito può fornire un supporto stabile e un movimento preciso alle apparecchiature di misurazione per garantire la qualità dell'assemblaggio.
Campo di applicazione dell'ispezione ottica: nel processo di produzione e collaudo di componenti ottici, è necessario eseguire un posizionamento e una misurazione di alta precisione. Ad esempio, nella produzione di componenti ottici di alta precisione come specchi e lenti, è necessario utilizzare interferometri e altre apparecchiature per rilevare l'accuratezza della forma superficiale. La base in granito del modulo di movimento ultra-preciso a singolo asse con sospensione pneumatica può essere utilizzata come piattaforma di movimento per l'interferometro, consentendo di ottenere una precisione di posizionamento sub-micrometrica e fornendo dati accurati per il controllo dei componenti ottici. Inoltre, nelle apparecchiature di lavorazione laser, è necessario utilizzare una piattaforma di movimento di alta precisione per controllare la traiettoria di scansione del raggio laser; la base in granito del modulo di movimento con sospensione pneumatica soddisfa questo requisito, consentendo una lavorazione laser di alta precisione.