produzione di semiconduttori
Litografia: la litografia è un processo chiave nella produzione di semiconduttori che richiede il trasferimento preciso di complessi pattern circuitali sui wafer. La piattaforma di movimento con isolamento attivo delle vibrazioni di precisione XYT su base in granito può fornire un supporto stabile e un posizionamento accurato per l'apparecchiatura di litografia, garantire che la precisione di posizionamento del tavolo del wafer durante il processo di esposizione raggiunga il livello nanometrico, ridurre efficacemente la deviazione del pattern causata da vibrazioni e deformazione termica e migliorare la precisione di produzione e la resa del chip.
Ispezione dei wafer: una volta completata la produzione, è necessario ispezionarli con elevata precisione per individuare piccoli difetti. La piattaforma di movimento con isolamento attivo delle vibrazioni XYT può essere equipaggiata con apparecchiature di rilevamento, come microscopi a fascio elettronico, microscopi a forza atomica, ecc., per mantenere un movimento stabile e un posizionamento accurato durante il processo di rilevamento, in modo che l'apparecchiatura di rilevamento possa scansionare accuratamente la superficie del wafer, migliorando la risoluzione e l'accuratezza del rilevamento.
Produzione di strumenti ottici
Molatura e lucidatura delle lenti: nel processo di produzione di lenti ottiche, è necessario molare e lucidare le lenti con elevata precisione per ottenere buone proprietà ottiche. La piattaforma di movimento con isolamento attivo delle vibrazioni di precisione XYT può controllare con precisione il percorso di movimento degli utensili di molatura e lucidatura, mentre la base in granito può isolare le vibrazioni esterne, riducendone l'impatto sulla precisione di lavorazione, per garantire che la planarità e la finitura superficiale della lente soddisfino i requisiti di progettazione.
Assemblaggio del sistema ottico: nel processo di assemblaggio del sistema ottico, i vari componenti ottici devono essere installati con precisione in una posizione specifica per garantire la propagazione accurata della luce e la qualità dell'immagine. La piattaforma di movimento con isolamento attivo delle vibrazioni di precisione XYT con base in granito può fornire una piattaforma stabile per l'installazione e la regolazione dei componenti ottici e ottenere un allineamento e un assemblaggio ad alta precisione dei componenti ottici attraverso un controllo preciso del movimento.
aerospaziale
Test del sistema di navigazione inerziale: il sistema di navigazione inerziale è un'importante apparecchiatura di navigazione in campo aerospaziale e la sua precisione influisce direttamente sulla precisione di navigazione e sulla sicurezza del volo degli aeromobili. Nel processo di test del sistema di navigazione inerziale, è necessario utilizzare una piattaforma girevole ad alta precisione per simulare i vari stati di movimento dell'aeromobile. La piattaforma di movimento con isolamento attivo dalle vibrazioni di precisione XYT può essere utilizzata come piattaforma di supporto per la tavola girevole. Grazie al controllo preciso del movimento e alle buone prestazioni di isolamento dalle vibrazioni, fornisce un ambiente di movimento stabile e preciso per i test del sistema di navigazione inerziale, migliorandone la precisione e l'affidabilità.
Lavorazione delle pale dei motori aeronautici: la precisione di lavorazione delle pale dei motori aeronautici ha un impatto significativo sulle prestazioni e l'efficienza del motore. La piattaforma di movimento ad isolamento attivo delle vibrazioni di precisione XYT può essere applicata al processo di lavorazione delle pale, come ad esempio ai centri di lavoro con leveraggio a cinque assi, controllando con precisione il percorso di movimento dell'utensile e mantenendo un ambiente di lavorazione stabile, per ottenere una lavorazione ad alta precisione della pala e garantire che la precisione del profilo della pala e la qualità superficiale soddisfino i requisiti di progettazione.
Test di ricerca scientifica
Ricerca nanoscientifica: nella ricerca nanoscientifica, è necessario operare e osservare oggetti su scala nanometrica, come la preparazione di nanomateriali e l'assemblaggio di nanodispositivi. La base in granito della piattaforma di movimento con isolamento attivo delle vibrazioni di precisione XYT può fornire una precisione di posizionamento sub-micrometrica o addirittura nanometrica, fornire una piattaforma sperimentale stabile e accurata per la ricerca nanoscientifica e aiutare gli scienziati a esplorare meglio i misteri del mondo nano.
Imaging biomedico: in campo biomedico, come nella microscopia a fluorescenza, nella microscopia confocale e in altri dispositivi di imaging, per ottenere immagini biologiche ad alta risoluzione sono necessari un posizionamento preciso e un imaging stabile del campione. La piattaforma di movimento con isolamento attivo delle vibrazioni di precisione XYT può trasportare campioni biologici, ridurre le vibrazioni e la deriva dei campioni attraverso un controllo accurato del movimento e buone prestazioni di isolamento delle vibrazioni, migliorare la qualità e l'accuratezza dell'imaging e aiutare i ricercatori biomedici a condurre ricerche approfondite su cellule, tessuti e altre strutture microscopiche.
Data di pubblicazione: 11 aprile 2025