♦ Alumina (al2O3)
Le parti ceramiche di precisione prodotte da Zhonghui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) possono essere realizzate con materie prime ceramiche di alta purezza, alumina al 92 ~ 97%, alumina al 99,5%, allumina> 99,9% e pressione isostatica a freddo CIP. Sintering ad alta temperatura e lavorazione di precisione, precisione dimensionale di ± 0,001 mm, fluidità fino a RA0.1, utilizzare la temperatura fino a 1600 gradi. Diversi colori della ceramica possono essere realizzati in base ai requisiti dei clienti, come: nero, bianco, beige, rosso scuro, ecc. Le parti ceramiche di precisione prodotte dalla nostra azienda sono resistenti ad alta temperatura, corrosione, usura e isolamento e possono essere utilizzate a lungo a lungo tempo ad alta temperatura, aspirapolvere e ambiente di gas corrosivo.
Ampiamente utilizzato in una varietà di attrezzature per la produzione di semiconduttori: cornici (staffa in ceramica), substrato (base), braccio/ ponte (manipolatore), componenti meccanici e cuscinetto in ceramica.
| Nome prodotto | Ad alta purezza 99 tubo quadrato in ceramica di allumina / tubo / asta | |||||
| Indice | Unità | 85 % AL2O3 | 95 % AL2O3 | 99 % AL2O3 | 99,5 % AL2O3 | |
| Densità | g/cm3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
| Assorbimento d'acqua | % | <0.1 | <0.1 | 0 | 0 | |
| Temperatura sinterizzata | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
| Durezza | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
| Forza di piegatura (20 ℃)) | MPA | 200 | 300 | 340 | 360 | |
| Resistenza a compressione | KGF/CM2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
| Temperatura di lavoro da molto tempo | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
| Max. Temperatura di lavoro | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
| Resistività al volume | 20 ℃ | Ω. CM3 | > 1013 | > 1013 | > 1013 | > 1013 |
| 100 ℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
| 300 ℃ | > 109 | > 1010 | > 1012 | > 1012 | ||
Applicazione della ceramica di allumina ad alta purezza:
1. Applicato ad attrezzature a semiconduttore: mandrino del vuoto in ceramica, disco di taglio, disco di pulizia, mandrino in ceramica.
2. Parti di trasferimento del wafer: maneggersi wafer manni, dischi di taglio del wafer, dischi di pulizia del wafer, tappeti di aspirazione dell'ispezione ottica del wafer.
3. Industria del display a pannello piatto LED / LCD: ugello di ceramica, disco di macinazione in ceramica, perno di sollevamento, binario del perno.
4. Comunicazione ottica, Industria solare: tubi in ceramica, aste di ceramica, stampino a schermo del circuito raschiatori di ceramica.
5. Parti resistenti al calore ed elettricamente isolanti: cuscinetti in ceramica.
Al momento, la ceramica di ossido di alluminio può essere divisa in elevata purezza e ceramica comune. La serie di ceramiche di ossido di alluminio ad alta purezza si riferisce al materiale ceramico contenente oltre il 99,9% al₂o₃. A causa della sua temperatura di sinterizzazione fino a 1650 - 1990 ° C e della sua lunghezza d'onda di trasmissione di 1 ~ 6μm, di solito viene elaborata in vetro fuso anziché in crogiolo di platino: che può essere usato come tubo di sodio a causa della sua trasmittanza della luce e della resistenza alla corrosione al metallo alcali. Nel settore elettronico, può essere utilizzato come materiale isolante ad alta frequenza per i substrati IC. Secondo diversi contenuti dell'ossido di alluminio, la serie di ceramica di ossido di alluminio comune può essere divisa in 99 ceramiche, 95 ceramiche, 90 ceramiche e 85 ceramiche. A volte, la ceramica con l'80% o il 75% dell'ossido di alluminio è anche classificata come serie ceramica di ossido di alluminio comune. Tra questi, il materiale ceramico di ossido di alluminio viene utilizzato per produrre crogioli ad alta temperatura, prove da forno a prova di fuoco e materiali speciali resistenti all'usura, come cuscinetti in ceramica, guarnizioni in ceramica e piastre di valvole. La ceramica di alluminio 95 è utilizzata principalmente come parte resistente all'usura resistente alla corrosione. 85 Ceramics è spesso miscelato in alcune proprietà, migliorando così le prestazioni elettriche e la resistenza meccanica. Può usare molibdeno, niobium, tantalum e altri guarnizioni in metallo e alcuni sono usati come dispositivi di vuoto elettrico.
| Articolo di qualità (valore rappresentativo) | Nome prodotto | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22s | AES-23 | AL-31-03 | |
| Composizione chimica Prodotto di sinterizzazione a basso contenuto di sodium | H₂o | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| Lol | % | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
| Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
| Sio₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
| Na₂o | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
| Mgo* | % | - | 0.11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
| Al₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
| Diametro medio delle particelle (MT-3300, metodo di analisi laser) | μm | 0.44 | 0.43 | 0.39 | 0.47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
| Dimensione del cristallo α | μm | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
| Formare densità ** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
| Densità di sinterizzazione ** | g/cm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
| Tasso di restringimento della linea di sinterizzazione ** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
* MGO non è incluso nel calcolo della purezza di Al₂o₃.
* Nessuna polvere di ridimensionamento 29,4 MPa (300 kg/cm²), la temperatura di sinterizzazione è di 1600 ° C.
AES-11 / 11C / 11F: Aggiungi 0,05 ~ 0,1% MgO, la sinterizzazione è eccellente, quindi è applicabile alla ceramica di ossido di alluminio con la purezza di oltre il 99%.
AES-22: caratterizzato da una densità di formazione elevata e un basso tasso di restringimento della linea di sinterizzazione, è applicabile alla fusione della forma di slittamento e ad altri prodotti su larga scala con precisione dimensionale richiesta.
AES-23 / AES-31-03: ha una densità di formazione più alta, la tixotropia e una viscosità inferiore rispetto agli AES-22. Il primo viene utilizzato per la ceramica mentre il secondo viene utilizzato come riduttore di acqua per materiali ignifughi, guadagnando popolarità.
♦ Caratteristiche di carburo di silicio (SIC)
| Caratteristiche generali | Purività dei componenti principali (WT%) | 97 | |
| Colore | Nero | ||
| Densità (g/cm³) | 3.1 | ||
| Assorbimento d'acqua (%) | 0 | ||
| Caratteristiche meccaniche | Resistenza alla flessione (MPA) | 400 | |
| Giovane modulo (GPA) | 400 | ||
| VICKERS DURNESS (GPA) | 20 | ||
| Caratteristiche termiche | Temperatura di funzionamento massima (° C) | 1600 | |
| Coefficiente di espansione termica | RT ~ 500 ° C. | 3.9 | |
| (1/° C x 10-6) | RT ~ 800 ° C. | 4.3 | |
| Conducibilità termica (w/m x k) | 130 110 | ||
| Resistenza a shock termico ΔT (° C) | 300 | ||
| Caratteristiche elettriche | Resistività al volume | 25 ° C. | 3 x 106 |
| 300 ° C. | - | ||
| 500 ° C. | - | ||
| 800 ° C. | - | ||
| Costante dielettrica | 10 GHz | - | |
| Perdita dielettrica (x 10-4) | - | ||
| Fattore Q (x 104) | - | ||
| Tensione di rottura dielettrica (KV/mm) | - | ||
♦ Ceramica di nitruro di silicio
| Materiale | Unità | Si₃n₄ |
| Metodo di sinterizzazione | - | Pressione del gas sinterizzata |
| Densità | g/cm³ | 3.22 |
| Colore | - | Grigio scuro |
| Tasso di assorbimento dell'acqua | % | 0 |
| Giovane modulo | GPA | 290 |
| Vickers Durezza | GPA | 18 - 20 |
| Resistenza a compressione | MPA | 2200 |
| Piegare la forza | MPA | 650 |
| Conducibilità termica | Con Mk | 25 |
| Resistenza agli shock termici | Δ (° C) | 450 - 650 |
| Temperatura di funzionamento massima | ° C. | 1200 |
| Resistività al volume | Ω · cm | > 10 ^ 14 |
| Costante dielettrica | - | 8.2 |
| Resistenza dielettrica | kv/mm | 16 |