Materiale – Ceramica

♦Allumina (Al2O3)

I componenti ceramici di precisione prodotti da ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) possono essere realizzati con materie prime ceramiche ad alta purezza, allumina al 92-97%, allumina al 99,5%, allumina >99,9% e pressatura isostatica a freddo CIP. Sinterizzazione ad alta temperatura e lavorazioni meccaniche di precisione, precisione dimensionale di ± 0,001 mm, scorrevolezza fino a Ra0,1, temperature di utilizzo fino a 1600 gradi. È possibile realizzare ceramiche in diversi colori, a seconda delle esigenze del cliente, come: nero, bianco, beige, rosso scuro, ecc. I componenti ceramici di precisione prodotti dalla nostra azienda sono resistenti alle alte temperature, alla corrosione, all'usura e all'isolamento, e possono essere utilizzati a lungo in ambienti ad alta temperatura, sotto vuoto e con gas corrosivi.

Ampiamente utilizzato in una varietà di apparecchiature di produzione di semiconduttori: telai (staffa in ceramica), substrato (base), braccio/ponte (manipolatore), componenti meccanici e cuscinetti ad aria in ceramica.

AL2O3

Nome del prodotto Tubo/tubo/asta quadrati in ceramica di allumina 99 ad alta purezza
Indice Unità 85% Al2O3 95% Al2O3 99% Al2O3 99,5% Al2O3
Densità g/cm3 3.3 3.65 3.8 3.9
Assorbimento d'acqua % <0,1 <0,1 0 0
Temperatura sinterizzata °C 1620 1650 1800 1800
Durezza Mohs 7 9 9 9
Resistenza alla flessione (20℃)) MPA 200 300 340 360
Resistenza alla compressione Kgf/cm2 10000 25000 30000 30000
Temperatura di lavoro a lungo termine °C 1350 1400 1600 1650
Temperatura massima di esercizio °C 1450 1600 1800 1800
Resistività di volume 20℃ Ω. cm3 >1013 >1013 >1013 >1013
100℃ 1012-1013 1012-1013 1012-1013 1012-1013
300℃ >109 >1010 >1012 >1012

Applicazione della ceramica di allumina ad alta purezza:
1. Applicato ad apparecchiature per semiconduttori: mandrino a vuoto in ceramica, disco da taglio, disco di pulizia, MANDRINO in ceramica.
2. Parti di trasferimento wafer: mandrini per la movimentazione dei wafer, dischi per il taglio dei wafer, dischi per la pulizia dei wafer, ventose per l'ispezione ottica dei wafer.
3. Settore dei display a schermo piatto LED/LCD: ugello in ceramica, disco abrasivo in ceramica, PERNO DI SOLLEVAMENTO, guida PERNO.
4. Comunicazioni ottiche, industria solare: tubi in ceramica, barre in ceramica, raschiatori in ceramica per serigrafia di circuiti stampati.
5. Parti resistenti al calore e isolanti elettricamente: cuscinetti in ceramica.
Attualmente, le ceramiche di ossido di alluminio possono essere suddivise in ceramiche ad alta purezza e ceramiche comuni. La serie di ceramiche di ossido di alluminio ad alta purezza si riferisce al materiale ceramico contenente oltre il 99,9% di Al₂O₃. Grazie alla sua temperatura di sinterizzazione fino a 1650-1990 °C e alla sua lunghezza d'onda di trasmissione di 1 ~ 6 μm, viene solitamente trasformato in vetro fuso anziché in crogioli di platino: quest'ultimo può essere utilizzato come tubo di sodio grazie alla sua trasmittanza luminosa e alla resistenza alla corrosione da metalli alcalini. Nell'industria elettronica, può essere utilizzato come materiale isolante ad alta frequenza per i substrati dei circuiti integrati. In base al diverso contenuto di ossido di alluminio, la serie di ceramiche di ossido di alluminio comuni può essere suddivisa in ceramiche 99, ceramiche 95, ceramiche 90 e ceramiche 85. Talvolta, anche le ceramiche con l'80% o il 75% di ossido di alluminio vengono classificate come serie di ceramiche di ossido di alluminio comuni. Tra questi, il materiale ceramico in ossido di alluminio 99 viene utilizzato per produrre crogioli ad alta temperatura, tubi per forni ignifughi e materiali speciali resistenti all'usura, come cuscinetti ceramici, guarnizioni ceramiche e piastre per valvole. La ceramica in alluminio 95 viene utilizzata principalmente come componente resistente alla corrosione e all'usura. La ceramica 85 viene spesso miscelata per ottenere alcune proprietà, migliorando così le prestazioni elettriche e la resistenza meccanica. Può essere utilizzata per guarnizioni in molibdeno, niobio, tantalio e altri metalli, e alcune sono utilizzate come dispositivi elettrici per il vuoto.

 

Articolo di qualità (valore rappresentativo) Nome del prodotto AES-12 AES-11 AES-11C AES-11F AES-22S AES-23 AL-31-03
Composizione chimica Prodotto di facile sinterizzazione a basso contenuto di sodio H₂O % 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1
Lol % 0,1 0,2 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1
Fe₂0₃ % 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01
SiO₂ % 0,03 0,03 0,03 0,03 0,02 0,04 0,04
Na₂O % 0,04 0,04 0,04 0,04 0,02 0,04 0,03
MgO* % - 0,11 0,05 0,05 - - -
Al₂0₃ % 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9
Diametro medio delle particelle (MT-3300, metodo di analisi laser) micron 0,44 0,43 0,39 0,47 1.1 2.2 3
Dimensione del cristallo α micron 0,3 0,3 0,3 0,3 0,3 ~ 1,0 0,3 ~ 4 0,3 ~ 4
Densità di formazione** g/cm³ 2.22 2.22 2.2 2.17 2.35 2.57 2.56
Densità di sinterizzazione** g/cm³ 3,88 3.93 3.94 3.93 3,88 3.77 3.22
Tasso di restringimento della linea di sinterizzazione** % 17 17 18 18 15 12 7

* MgO non è incluso nel calcolo della purezza di Al₂O₃.
* Nessuna polvere incrostante 29,4 MPa (300 kg/cm²), temperatura di sinterizzazione 1600 °C.
AES-11 / 11C / 11F: aggiungere 0,05 ~ 0,1% di MgO, la sinterizzazione è eccellente, quindi è applicabile alla ceramica di ossido di alluminio con una purezza superiore al 99%.
AES-22S: caratterizzato da un'elevata densità di formatura e da una bassa velocità di restringimento della linea di sinterizzazione, è applicabile alla fusione in forme scorrevoli e ad altri prodotti di grandi dimensioni con la precisione dimensionale richiesta.
AES-23 / AES-31-03: Presenta una densità di formatura più elevata, tissotropia e una viscosità inferiore rispetto all'AES-22S. Il primo viene utilizzato per la ceramica, mentre il secondo viene utilizzato come riduttore d'acqua per materiali ignifughi, guadagnando popolarità.

♦Caratteristiche del carburo di silicio (SiC)

Caratteristiche generali Purezza dei componenti principali (% in peso) 97
Colore Nero
Densità (g/cm³) 3.1
Assorbimento d'acqua (%) 0
Caratteristiche meccaniche Resistenza alla flessione (MPa) 400
Modulo di Young (GPa) 400
Durezza Vickers (GPa) 20
Caratteristiche termiche Temperatura massima di esercizio (°C) 1600
Coefficiente di dilatazione termica Temperatura di conservazione ~ 500 °C 3.9
(1/°C x 10-6) Temperatura di conservazione ~800°C 4.3
Conduttività termica (W/m x K) 130 110
Resistenza agli shock termici ΔT (°C) 300
Caratteristiche elettriche Resistività di volume 25°C 3 x 106
300°C -
500°C -
800°C -
costante dielettrica 10 GHz -
Perdita dielettrica (x 10-4) -
Fattore Q (x 104) -
Tensione di rottura dielettrica (KV/mm) -

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♦Ceramica al nitruro di silicio

Materiale Unità Si₃N₄
Metodo di sinterizzazione - Sinterizzato a pressione di gas
Densità g/cm³ 3.22
Colore - Grigio scuro
Tasso di assorbimento dell'acqua % 0
Modulo di Young Media dei voti 290
Durezza Vickers Media dei voti 18 - 20
Resistenza alla compressione MPA 2200
Resistenza alla flessione MPA 650
Conduttività termica W/mK 25
Resistenza agli shock termici Δ (°C) 450 - 650
Temperatura massima di esercizio °C 1200
Resistività di volume Ω·cm > 10 ^ 14
Costante dielettrica - 8.2
Rigidità dielettrica kV/mm 16