♦Allumina (Al2O3)
Le parti in ceramica di precisione prodotte da ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) possono essere realizzate con materie prime ceramiche di elevata purezza, 92~97% di allumina, 99,5% di allumina, >99,9% di allumina e pressatura isostatica a freddo CIP.Sinterizzazione ad alta temperatura e lavorazione di precisione, precisione dimensionale di ± 0,001 mm, levigatezza fino a Ra0,1, temperatura di utilizzo fino a 1600 gradi.È possibile realizzare diversi colori di ceramica in base alle esigenze dei clienti, ad esempio: nero, bianco, beige, rosso scuro, ecc. Le parti in ceramica di precisione prodotte dalla nostra azienda sono resistenti alle alte temperature, alla corrosione, all'usura e all'isolamento e possono essere utilizzato per lungo tempo in ambienti ad alta temperatura, vuoto e gas corrosivi.
Ampiamente utilizzato in una varietà di apparecchiature per la produzione di semiconduttori: telai (staffa in ceramica), substrato (base), braccio/ponte (manipolatore), componenti meccanici e cuscinetto d'aria in ceramica.
nome del prodotto | Tubo/tubo/asta quadrato in ceramica di allumina 99 ad elevata purezza | |||||
Indice | Unità | 85% Al2O3 | 95% Al2O3 | 99% Al2O3 | 99,5% Al2O3 | |
Densità | g/cm3 | 3.3 | 3,65 | 3.8 | 3.9 | |
Assorbimento dell'acqua | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
Temperatura sinterizzata | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
Durezza | Moh | 7 | 9 | 9 | 9 | |
Resistenza alla flessione (20 ℃)) | MPa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
Resistenza alla compressione | Kgf/cm2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
Temperatura di lavoro per lungo tempo | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
Massimo.Temperatura di lavoro | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
Resistività del volume | 20 ℃ | Ω.cm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
100 ℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
300 ℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 |
Applicazione di ceramiche di allumina ad alta purezza:
1. Applicato alle apparecchiature a semiconduttore: mandrino a vuoto in ceramica, disco da taglio, disco di pulizia, MANDRINO in ceramica.
2. Parti di trasferimento dei wafer: mandrini per la movimentazione dei wafer, dischi per il taglio dei wafer, dischi per la pulizia dei wafer, ventose per l'ispezione ottica dei wafer.
3. Industria dei display a schermo piatto LED / LCD: ugello in ceramica, disco abrasivo in ceramica, PIN LIFT, guida PIN.
4. Comunicazione ottica, industria solare: tubi in ceramica, aste in ceramica, raschietti in ceramica per serigrafia di circuiti stampati.
5. Parti resistenti al calore ed elettricamente isolanti: cuscinetti in ceramica.
Allo stato attuale, le ceramiche all'ossido di alluminio possono essere suddivise in ceramiche ad elevata purezza e comuni.La serie ceramica all'ossido di alluminio ad elevata purezza si riferisce al materiale ceramico contenente più del 99,9% di Al₂O₃.A causa della sua temperatura di sinterizzazione fino a 1650 - 1990°C e della sua lunghezza d'onda di trasmissione di 1 ~ 6μm, viene solitamente trasformato in vetro fuso invece che in crogiolo di platino: che può essere utilizzato come tubo di sodio grazie alla sua trasmissione luminosa e resistenza alla corrosione a metallo alcalino.Nell'industria elettronica può essere utilizzato come materiale isolante ad alta frequenza per i substrati dei circuiti integrati.In base ai diversi contenuti di ossido di alluminio, le comuni serie ceramiche di ossido di alluminio possono essere suddivise in 99 ceramiche, 95 ceramiche, 90 ceramiche e 85 ceramiche.A volte, la ceramica con l'80% o il 75% di ossido di alluminio è anche classificata come serie ceramica comune all'ossido di alluminio.Tra questi, il materiale ceramico in ossido di alluminio 99 viene utilizzato per produrre crogioli ad alta temperatura, tubi del forno ignifughi e materiali speciali resistenti all'usura, come cuscinetti in ceramica, guarnizioni in ceramica e piastre delle valvole.La ceramica in alluminio 95 viene utilizzata principalmente come parte resistente all'usura resistente alla corrosione.La ceramica 85 viene spesso miscelata in alcune proprietà, migliorando così le prestazioni elettriche e la resistenza meccanica.Può utilizzare molibdeno, niobio, tantalio e altri sigilli metallici e alcuni sono utilizzati come dispositivi di aspirazione elettrici.
Articolo di qualità (valore rappresentativo) | nome del prodotto | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
Composizione chimica Prodotto a sinterizzazione facile a basso contenuto di sodio | H₂O | % | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 |
Lol | % | 0,1 | 0,2 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | |
Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
SiO₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
Na₂O | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
MgO* | % | - | 0,11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
Al₂0₃ | % | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | |
Diametro medio delle particelle (MT-3300, metodo di analisi laser) | µm | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
Dimensione del cristallo α | µm | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3~4 | 0,3~4 | |
Densità di formazione** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
Densità di sinterizzazione** | g/cm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
Tasso di contrazione della linea di sinterizzazione** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
*MgO non è incluso nel calcolo della purezza di Al₂O₃.
* Polvere senza scagliatura 29,4 MPa (300 kg/cm²), la temperatura di sinterizzazione è 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: aggiungere 0,05 ~ 0,1% MgO, la sinterizzazione è eccellente, quindi è applicabile alla ceramica all'ossido di alluminio con una purezza superiore al 99%.
AES-22S: caratterizzato da un'elevata densità di formatura e da un basso tasso di restringimento della linea di sinterizzazione, è applicabile alla fusione in forma scorrevole e ad altri prodotti su larga scala con la precisione dimensionale richiesta.
AES-23 / AES-31-03: ha una densità di formatura maggiore, tixotropia e una viscosità inferiore rispetto a AES-22S.il primo viene utilizzato per la ceramica mentre il secondo viene utilizzato come riduttore d'acqua per materiali ignifughi, guadagnando popolarità.
♦Caratteristiche del carburo di silicio (SiC).
Caratteristiche generali | Purezza dei componenti principali (% in peso) | 97 | |
Colore | Nero | ||
Densità (g/cm³) | 3.1 | ||
Assorbimento dell'acqua (%) | 0 | ||
Caratteristiche meccaniche | Resistenza alla flessione (MPa) | 400 | |
Modulo di Young (GPa) | 400 | ||
Durezza Vickers (GPa) | 20 | ||
Caratteristiche termiche | Temperatura massima di esercizio (°C) | 1600 | |
Coefficiente di dilatazione termica | RT~500°C | 3.9 | |
(1/°C x 10-6) | RT~800°C | 4.3 | |
Conducibilità termica (W/m x K) | 130 110 | ||
Resistenza allo shock termico ΔT (°C) | 300 | ||
caratteristiche elettriche | Resistività del volume | 25°C | 3×106 |
300°C | - | ||
500°C | - | ||
800°C | - | ||
Costante dielettrica | 10GHz | - | |
Perdita dielettrica (x 10-4) | - | ||
Fattore Q (x 104) | - | ||
Tensione di rottura dielettrica (KV/mm) | - |
♦ Ceramica al nitruro di silicio
Materiale | Unità | Si₃N₄ |
Metodo di sinterizzazione | - | Pressione del gas sinterizzato |
Densità | g/cm³ | 3.22 |
Colore | - | Grigio scuro |
Tasso di assorbimento dell'acqua | % | 0 |
Modulo giovane | GP | 290 |
Durezza Vickers | GP | 18 - 20 |
Resistenza alla compressione | MPa | 2200 |
Resistenza alla flessione | MPa | 650 |
Conduttività termica | W/mK | 25 |
Resistenza allo shock termico | Δ (°C) | 450 - 650 |
Temperatura operativa massima | °C | 1200 |
Resistività del volume | Ω·cm | >10^14 |
Costante dielettrica | - | 8.2 |
Rigidità dielettrica | kV/mm | 16 |