I sistemi di cuscinetti ad aria in granito sono ampiamente utilizzati inultra-precisionPiattaforme di movimentazione per la produzione di semiconduttori, l'allineamento ottico e la metrologia su scala nanometrica.
Questi sistemi eliminano il contatto meccanico utilizzando un sottile film d'aria pressurizzata, ottenendo un movimento con attrito pressoché nullo.
Principio del cuscinetto ad aria
I cuscinetti ad aria funzionano introducendo aria compressa tra due superfici, formando una pellicola d'aria di spessore compreso tra 2 e 20 μm.
Ciò elimina:
- Attrito meccanico
- Indossare
- Comportamento stick-slip
Il sistema si basa sulla dinamica del film fluido e su un flusso laminare stabile.
Ruolo del granito
Il granito offre:
- stabilità strutturale
- Soppressione della deriva termica
- Smorzamento delle vibrazioni
Funge da base di riferimento meccanica per il sistema di movimento.
Componenti del sistema
- Base in granito
- Tamponi ad aria
- Sistema di alimentazione dell'aria
- Codificatori di precisione
- Sistema di controllo del movimento
Caratteristiche prestazionali
Le prestazioni tipiche includono:
- Precisione di posizionamento sub-micronica
- Elevata rettilineità su lunghe distanze
- Nessun gioco meccanico
Le principali fonti di errore includono l'instabilità della pressione dell'aria, la deriva termica e gli errori dell'encoder.
Applicazioni
- Ispezione dei wafer di semiconduttori
- Sistemi di litografia
- Piattaforme di allineamento ottico
- Macchine metrologiche di fascia alta
FAQ
I cuscinetti ad aria si usurano?
L'assenza di contatto meccanico elimina l'usura.
Perché utilizzare il granito?
Per garantire stabilità e smorzare le vibrazioni.
Quali fattori limitano la precisione?
Stabilità dell'aria ed effetti termici.
Possono trasportare carichi pesanti?
Sì, a seconda del progetto.
Data di pubblicazione: 3 luglio 2026