♦Allumina(Al2O3)
I componenti ceramici di precisione prodotti da ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) possono essere realizzati con materie prime ceramiche ad alta purezza, allumina al 92-97%, allumina al 99,5%, allumina >99,9% e pressatura isostatica a freddo (CIP). La sinterizzazione ad alta temperatura e la lavorazione di precisione garantiscono un'accuratezza dimensionale di ± 0,001 mm, una levigatezza fino a Ra0,1 e una temperatura di utilizzo fino a 1600 gradi. È possibile realizzare ceramiche di diversi colori su richiesta del cliente, come nero, bianco, beige, rosso scuro, ecc. I componenti ceramici di precisione prodotti dalla nostra azienda sono resistenti alle alte temperature, alla corrosione, all'usura e all'isolamento, e possono essere utilizzati a lungo in ambienti ad alta temperatura, sottovuoto e con gas corrosivi.
Ampiamente utilizzato in diverse apparecchiature per la produzione di semiconduttori: telai (staffa in ceramica), substrato (base), braccio/ponte (manipolatore), componenti meccanici e cuscinetti ad aria in ceramica.
| Nome del prodotto | Tubo/condotto/asta quadrata in ceramica di allumina ad alta purezza 99 | |||||
| Indice | Unità | 85% Al2O3 | 95% Al2O3 | 99% Al2O3 | 99,5% Al2O3 | |
| Densità | g/cm³ | 3.3 | 3,65 | 3.8 | 3.9 | |
| Assorbimento dell'acqua | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
| Temperatura di sinterizzazione | °C | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
| Durezza | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
| Resistenza alla flessione (20℃) | Mpa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
| Resistenza alla compressione | Kgf/cm2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
| Temperatura di esercizio prolungata | °C | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
| Temperatura massima di esercizio | °C | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
| Resistività di volume | 20℃ | Ω. cm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
| 100℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
| 300℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 | ||
Applicazioni delle ceramiche di allumina ad elevata purezza:
1. Applicato ad apparecchiature per semiconduttori: mandrino a vuoto in ceramica, disco da taglio, disco di pulizia, mandrino in ceramica.
2. Componenti per il trasferimento dei wafer: mandrini per la movimentazione dei wafer, dischi per il taglio dei wafer, dischi per la pulizia dei wafer, ventose per l'ispezione ottica dei wafer.
3. Industria dei display a schermo piatto LED/LCD: ugello in ceramica, disco abrasivo in ceramica, perno di sollevamento, guida per perni.
4. Comunicazioni ottiche, industria solare: tubi ceramici, barre ceramiche, raschietti ceramici per serigrafia di circuiti stampati.
5. Componenti resistenti al calore e isolanti elettricamente: cuscinetti in ceramica.
Attualmente, le ceramiche di ossido di alluminio possono essere suddivise in ceramiche ad alta purezza e ceramiche comuni. La serie di ceramiche di ossido di alluminio ad alta purezza si riferisce al materiale ceramico contenente oltre il 99,9% di Al₂O₃. Grazie alla sua temperatura di sinterizzazione fino a 1650-1990 °C e alla sua lunghezza d'onda di trasmissione di 1-6 μm, viene solitamente lavorata in vetro fuso anziché in crogioli di platino: può essere utilizzata come tubo al sodio grazie alla sua trasmissione della luce e alla resistenza alla corrosione da metalli alcalini. Nell'industria elettronica, può essere utilizzata come materiale isolante ad alta frequenza per i substrati dei circuiti integrati. In base al diverso contenuto di ossido di alluminio, la serie di ceramiche di ossido di alluminio comuni può essere suddivisa in ceramiche 99, 95, 90 e 85. Talvolta, anche le ceramiche con l'80% o il 75% di ossido di alluminio vengono classificate come serie di ceramiche di ossido di alluminio comuni. Tra questi, il materiale ceramico di ossido di alluminio al 99% viene utilizzato per produrre crogioli ad alta temperatura, tubi per forni ignifughi e materiali speciali resistenti all'usura, come cuscinetti ceramici, guarnizioni ceramiche e piastre per valvole. La ceramica di alluminio al 95% è utilizzata principalmente come componente resistente alla corrosione e all'usura. La ceramica all'85% viene spesso miscelata con altri materiali per migliorarne le proprietà elettriche e la resistenza meccanica. Può essere utilizzata per guarnizioni in molibdeno, niobio, tantalio e altri metalli, e in alcuni casi viene impiegata come dispositivo elettrico per il vuoto.
| Articolo di qualità (valore rappresentativo) | Nome del prodotto | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
| Composizione chimica Prodotto a basso contenuto di sodio e facile sinterizzazione | H₂O | % | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 |
| Lol | % | 0,1 | 0,2 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | |
| Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
| SiO₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
| Na₂O | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
| MgO* | % | - | 0,11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
| Al₂0₃ | % | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | |
| Diametro medio delle particelle (MT-3300, metodo di analisi laser) | μm | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
| α Dimensione del cristallo | μm | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
| Densità di formazione** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2,57 | 2,56 | |
| Densità di sinterizzazione** | g/cm³ | 3,88 | 3,93 | 3,94 | 3,93 | 3,88 | 3,77 | 3.22 | |
| Tasso di contrazione della linea di sinterizzazione** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
* L'MgO non è incluso nel calcolo della purezza dell'Al₂O₃.
* Senza polvere di scaglie 29,4 MPa (300 kg/cm²), temperatura di sinterizzazione 1600 °C.
AES-11 / 11C / 11F: Aggiungendo lo 0,05 ~ 0,1% di MgO, la sinterizzabilità è eccellente, quindi è applicabile a ceramiche di ossido di alluminio con una purezza superiore al 99%.
AES-22S: Caratterizzato da un'elevata densità di formatura e da un basso tasso di ritiro della linea di sinterizzazione, è adatto alla colata in stampo e ad altri prodotti di grandi dimensioni con la precisione dimensionale richiesta.
AES-23 / AES-31-03: Presenta una densità di formatura e una tissotropia maggiori e una viscosità inferiore rispetto all'AES-22S. Il primo è utilizzato nella ceramica, mentre il secondo è impiegato come riduttore d'acqua per materiali ignifughi, guadagnando popolarità.
♦Caratteristiche del carburo di silicio (SiC)
| Caratteristiche generali | Purezza dei componenti principali (% in peso) | 97 | |
| Colore | Nero | ||
| Densità (g/cm³) | 3.1 | ||
| Assorbimento d'acqua (%) | 0 | ||
| Caratteristiche meccaniche | Resistenza alla flessione (MPa) | 400 | |
| Modulo di Young (GPa) | 400 | ||
| Durezza Vickers (GPa) | 20 | ||
| Caratteristiche termiche | Temperatura massima di esercizio (°C) | 1600 | |
| coefficiente di dilatazione termica | RT~500°C | 3.9 | |
| (1/°C x 10⁻⁶) | RT~800°C | 4.3 | |
| Conduttività termica (W/m x K) | 130 110 | ||
| Resistenza allo shock termico ΔT (°C) | 300 | ||
| Caratteristiche elettriche | resistività volumetrica | 25°C | 3 x 106 |
| 300 °C | - | ||
| 500 °C | - | ||
| 800 °C | - | ||
| Costante dielettrica | 10 GHz | - | |
| Perdita dielettrica (x 10⁻⁴) | - | ||
| Fattore Q (x 104) | - | ||
| Tensione di rottura dielettrica (kV/mm) | - | ||
♦ Ceramica al nitruro di silicio
| Materiale | Unità | Si₃N₄ |
| Metodo di sinterizzazione | - | Sinterizzato a pressione di gas |
| Densità | g/cm³ | 3.22 |
| Colore | - | Grigio scuro |
| Tasso di assorbimento dell'acqua | % | 0 |
| Modulo di Young | GPA | 290 |
| Durezza Vickers | GPA | 18 - 20 |
| Resistenza alla compressione | Mpa | 2200 |
| Resistenza alla flessione | Mpa | 650 |
| Conduttività termica | W/mK | 25 |
| Resistenza agli shock termici | Δ (°C) | 450 - 650 |
| Temperatura massima di esercizio | °C | 1200 |
| Resistività di volume | Ω·cm | > 10 ^ 14 |
| Costante dielettrica | - | 8.2 |
| Resistenza dielettrica | kV/mm | 16 |

